本发明专利技术公开了一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，该光纤夹紧装置包括衬底和盖板，衬底的上部刻蚀n个光纤槽组，每个光纤槽组由一个空腔和两个光纤槽组成，空腔位于衬底的端部，两个光纤槽的进口端位于衬底的端部，两个光纤槽的出口端连通空腔，且从光纤槽的进口端到出口端，两根光纤槽逐渐靠近，在光纤槽的出口端，两根光纤槽的距离最近；两根光纤槽中心线的延长线在衬底的边缘相交；n为大于等于1的整数；盖板固定连接在衬底的顶面。该光纤夹紧装置中设置了光纤的安装位置，可实现一对或多对光纤的一次性对准安装，大大提高了封装效率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光纤夹紧装置，具体来说，涉及一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置。
技术介绍
可变光衰减器(VOA)是光网络中的一种重要的光纤无源器件，是组成光放大器的关键部件，在光纤通信系统中起到功率平衡的关键作用。微机电系统(文中简称:MEMS)可变光衰减器性能可靠，结构紧凑，造价低廉，易于批量生产，具有广泛的发展前景。目前的MEMS可变光衰减器主要有微镜结构，通过静电驱动实现微镜的上下偏转。芯片封装过程中需要和光纤对准，对微镜阵列而言全靠人工实现成本太高。因此设计高效率封装结构是业界发展的方向。
技术实现思路
技术问题:本专利技术所要解决的技术问题是:提供一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，该光纤夹紧装置中设置了光纤的安装位置，可实现一对或多对光纤的一次性对准安装，大大提高了封装效率。技术方案:为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是:一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，该光纤夹紧装置包括衬底和盖板，衬底的上部刻蚀η个光纤槽组,每个光纤槽组由一个空腔和两个光纤槽组成，空腔位于衬底的端部，两个光纤槽的进口端位于衬底的端部，两个光纤槽的出口端连通空腔，且从光纤槽的进口端到出口端，两根光纤槽逐渐靠近，在光纤槽的出口端，两根光纤槽的距离最近；两根光纤槽中心线的延长线在衬底的边缘相交；η为大于等于I的整数；盖板固定连接在衬底的顶面。进一步，所述的η为大于等于2的整数，相邻的两个光纤槽组的空腔之间，设有挡板，挡板固定连接在衬底上。进一步，所述的光纤槽的深度比光纤的直径大O —10微米。有益效果:与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下有益效果:(I)可实现光纤的一次性对准安装。本专利技术的光纤夹紧装置中，每个光纤槽组由一个空腔和两个光纤槽组成，且两根光纤槽中心线的延长线在衬底的边缘相交。在安装时，直接将光纤插入光纤槽中，将微镜固定在衬底的边缘处即可。同时从光纤槽的进口端到出口端，两根光纤槽逐渐靠近。在每个光纤槽组中，两根光纤槽中心线的延长线在衬底的边缘相交。这样，在安装光纤的同时，也完成了对准工作。这样就实现光纤的一次性对准安装工作。(2)封装效率高。本专利技术的光纤夹紧装置中，光纤槽组可以为2个或2个以上。就是说，本专利技术的光纤夹紧装置适用于阵列微镜。由于光纤槽是事先刻蚀的，使用时，直接将各光纤插入光纤槽中，将微镜置于衬底边缘即可。在保证对准精度的前提下，提高了封装效率。同时，由于各组光纤槽的位置固定，相互平行，在调试时，统一调试微镜角度即可。这降低了封装调试成本。附图说明图1是本专利技术中衬底的俯视图。图2是本专利技术的纵向剖视图。图中有:衬底1、光纤槽2、挡板3、空腔4、盖板5、微镜6。具体实施例方式下面结合附图，对本专利技术的技术方案作进一步详细的说明。如图1和图2所示，本专利技术的用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，包括衬底I和盖板5。衬底I的上部刻蚀η个光纤槽组。η为大于等于I的整数。每个光纤槽组由一个空腔4和两个光纤槽2组成，空腔4位于衬底I的端部,两个光纤槽2的进口端位于衬底I的端部，两个光纤槽2的出口端连通空腔4，且从光纤槽2的进口端到出口端，两根光纤槽2逐渐靠近。在光纤槽2的出口端，两根光纤槽2的距离最近。在每个光纤槽组中，两根光纤槽2中心线的延长线在衬底I的边缘相交。为了保证光纤可以嵌至在光纤槽2中，光纤槽2的深度比光纤的直径大O —10微米。盖板5固定连接在衬底I的顶面。上述结构的光纤夹紧装置可用于一个微镜，也可以用于阵列微镜。光纤槽组的数量与微镜的数量相同。当用于阵列微镜时，η为大于等于2的整数，相邻的两个光纤槽组的空腔之间，设有挡板3，挡板3固定连接在衬底I上。挡板3可以隔离微镜之间的相互干扰。上述结构的光纤夹紧装置的使用过程是:将可变光衰减器中的光纤由光纤槽组的光纤槽2进口端直接插入光纤槽2中，并且将微镜6固定在衬底I的边缘处，微镜6与衬底I上的空腔4相对。两个光纤槽2中心线的延长线的交点位于微镜6上。这样，光纤从远离微镜6的位置开始逐渐靠近，到接近微镜6的位置达到最近。因为两个光纤槽2中心线的延长线的交点位于微镜6上，所以微镜6可以起到发射镜的作用。当一对光纤中的某一根光纤发出光束，将通过空腔4照射到下部的微镜6上,微镜6将该光束反射到另一根光纤中。通过调整微镜6的偏转角度，可以调节反射到另一根光纤中的光的强度，从而起到可调光衰减的作用。上述用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，可以用普通硅片进行硅深刻蚀加工技术实现。具体加工工艺包括如下步骤:步骤10)选取(100)晶向硅片作为起始硅片。步骤20)采用热氧化方法，在起始硅片表面生长一层氧化层，然后采用旋涂工艺，在氧化层上覆盖一层光刻胶，随后对硅片进行光刻，采用干法感应耦合等离子体工艺，刻蚀光纤槽2和空腔4，刻蚀深度大于或等于光纤直径。步骤30)采用玻璃作为盖板5，将盖板5和步骤20)的硅片刻槽面进行阳极键合，完成夹具封装。封装后的夹具就可用于光纤插入和与微镜对准封装了。本专利技术的光纤夹紧装置通过对硅片表面进行加工，然后和玻璃的阳极键合实现光纤槽夹具的制备。采用微机械加工工艺，工艺简单且保证了加工精度。由于预先固定了光纤的位置，因此安装非常简单，可同时实现多对光纤的一次对准安装，大大提高了封装的效率。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，其特征在于，该光纤夹紧装置包括衬底（1）和盖板（5），衬底（1）的上部刻蚀n个光纤槽组，每个光纤槽组由一个空腔（4）和两个光纤槽（2）组成，空腔（4）位于衬底（1）的端部，两个光纤槽（2）的进口端位于衬底（1）的端部，两个光纤槽（2）的出口端连通空腔（4），且从光纤槽（2）的进口端到出口端，两根光纤槽（2）逐渐靠近，在光纤槽（2）的出口端，两根光纤槽（2）的距离最近；两根光纤槽（2）中心线的延长线在衬底（1）的边缘相交；n为大于等于1的整数；盖板（5）固定连接在衬底（1）的顶面。
【技术特征摘要】
1.一种用于可变光衰减器封装的光纤夹紧装置，其特征在于，该光纤夹紧装置包括衬底(I)和盖板(5),衬底(I)的上部刻蚀η个光纤槽组,每个光纤槽组由一个空腔(4)和两个光纤槽(2 )组成，空腔(4 )位于衬底(I)的端部，两个光纤槽(2 )的进口端位于衬底(I)的端部，两个光纤槽(2)的出口端连通空腔(4)，且从光纤槽(2)的进口端到出口端，两根光纤槽(2)逐渐靠近，在光纤槽(2)的出口端，两根光纤槽(2)的距离最近；...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦明，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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