一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器制造技术

本发明专利技术公开了一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，包括挡板、活动梳齿、弹簧、第一锚区、固定梳齿电极、活动梳齿电极、光纤槽固定框、固定梳齿、应变电阻、应变电极、衬底和第二锚区；光纤槽固定框围成光纤槽，挡板嵌在光纤槽中，挡板的一端固定连接在活动梳齿的一侧；每个第一锚区的顶面设有一个活动梳齿电极，每个应变电阻的顶面设有一个应变电极；弹簧的两侧分别与一个应变电阻连接，且弹簧的中部与活动梳齿固定连接；第二锚区的一侧设有固定梳齿，固定梳齿和活动梳齿交替布置，第二锚区的顶面设有一个固定梳齿电极。该静电驱动可变光衰减器可动态调节活动梳齿的驱动电压，从而稳定挡板的输出位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静电驱动可变光衰减器，具体来说，涉及一种可自动稳定挡板位 置的静电驱动可变光衰减器。
技术介绍
可调变光衰减器(VOA)是光网络中的一种重要的光纤无源器件，是组成光放大器 的关键部件，在光纤通信系统中起到功率平衡的关键作用。可调变光衰减器类型包括机械 型，波导型，液晶型，和微机械(MEMS)型等。其中波导型与液晶型可调变光衰减器尚不 成熟，机械式可调变光衰减器应用最广，但体积较大，结构复杂。MEMS型可调变光衰减器 性能可靠，结构紧凑，造价低廉，易于批量生产，具有广泛的发展前景。目前的MEMS型 可调变光衰减器主要有挡板结构和微镜结构。前者工艺设计较复杂，而后者则难在封装。 通常的挡板型结构由于结构材料本身选择及加工过程等可能带来机械结构在恒定驱动力 下的位置漂移问题，从而造成输出波动。因此MEMS可调变光衰减器仍是目前的研究热点之O
技术实现思路
技术问题本专利技术所要解决的技术问题是提供一种可自动稳定挡板位置的静电 驱动可变光衰减器，该静电驱动可变光衰减器可动态调节活动梳齿的驱动电压，从而稳定 挡板的输出位置。技术方案为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，该静电驱动可变光衰减器包括挡板（1）、活动梳齿（2）、两侧沿纵向弯折的弹簧（3）、两个第一锚区（4）、固定梳齿电极（5）、两个活动梳齿电极（6）、光纤槽固定框（7）、固定梳齿（8）、两个应变电阻（9）、两个应变电极（10）、衬底（11）和第二锚区（12）；?光纤槽固定框（7）、第一锚区（4）、第二锚区（12）和应变电阻（9）分别固定连接在衬底（11）上，且应变电阻（9）和第一锚区（4）之间设有绝缘层；光纤槽固定框（7）围成光纤槽（13），挡板（1）嵌在光纤槽（13）中，挡板（1）的一端固定连接在活动梳齿（2）的一侧；每个第一锚区（4）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦明，匡蕾，陈升齐，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：