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一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器制造技术
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下载一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器的技术资料
文档序号:8489059
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本发明公开了一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器,包括挡板、活动梳齿、弹簧、第一锚区、固定梳齿电极、活动梳齿电极、光纤槽固定框、固定梳齿、应变电阻、应变电极、衬底和第二锚区;光纤槽固定框围成光纤槽,挡板嵌在光纤槽中,挡板的一端固定连...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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