一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法，该装置采用内部加热的方式对洗涤塔底部的液固混合物进行固液分离，能够保证洗涤塔更稳定的运行，不需额外建立一套独立的渣浆处理装置，极大降低了渣浆处理的水及碱液耗量，本发明专利技术具有设备结构以及工艺简单，容易操作，效果明显等优点，因此该装置及其使用方法具有广阔的市场前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅生产设备
，特别是。
技术介绍
多晶硅生产中待处理渣浆是在对合成的主要产物三氯氢硅进行湿法除尘过程中，逐渐沉积在洗涤塔底部的液固混合物，其中液体的主要成分为氯硅烷，约占渣浆总量的2/3 ;固体主要成分为硅粉，约占渣浆总量的1/3 ;这些混合物如不及时排出并处理，会在洗涤塔底部堆积，造成设备无法正常运转，从而对整个合成工段造成严重影响。现有技术均采用直接水洗的办法对该部分渣浆进行处理。需要建立一套独立的渣浆处理装置，投资较大，同时需额外耗费大量的水及碱液，因此该方法不适合大工业生产使用。
技术实现思路
为了解决现有多晶硅生产时洗涤塔底部液氯硅烷回收所存在的缺陷和问题，本专利技术提供一种可以降低渣浆处理成本，避免设备损坏的三氯氢硅合成工段渣浆处理装置及其使用方法。为解决上述技术问题本专利技术的技术方案为:一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，包括移动罐、列管式换热器、蒸汽导入管道、氮气导入管道一、蒸汽和凝液导出管道、氮气导出管道一、氯娃烧气体导出管道、温度表一、压力表一、温度表二、过滤器、压力表二、移动罐导入管道、连接法兰，其特征在于:所述列管式换热器顶部设置有蒸汽导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅合成工段渣浆处理装置，包括移动罐（1）、列管式换热器（2）、蒸汽导入管道（3）、氮气导入管道一（4）、蒸汽和凝液导出管道（5）、氮气导出管道一（6）、氯硅烷气体导出管道（7）、温度表一（10）、压力表一（11）、温度表二（12）、过滤器（13）、压力表二（15）、移动罐导入管道（17）、连接法兰（18），其特征在于：所述列管式换热器（2）顶部设置有蒸汽导入管道（3）和氮气导入管道一（4），底部设置有蒸汽和凝液导出管道（5）和氮气导出管道一（6），所述氮气导出管道一（6）通过连接法兰（18）与移动罐导入管道（17）相连；所述移动罐（1）顶部设置有氯硅烷气体导出管道（7）和压力表二（1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谷双，邓新贵，王启海，朱宝毅，陈惟勤，李俊，刘芳，彭洁，何超睿，欧阳启文，刘慎华，
申请(专利权)人：江西景德半导体新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：