一种维持隔膜压缩机压力平衡系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐（1）、压缩机后缓冲罐（2）、压缩机（3）、低压工艺气体导入管道（4）、高压工艺气体补充管道（5）、工艺气体导出管道（6）、工艺气体压力平衡连接管道（10），所述工艺气体压力平衡连接管道（10）上设置有阀门（9）和自动调节阀（7），所述阀门（9）和自动调节阀（7）之间设置有惰性气体导入管道（8），本实用新型专利技术利用补充惰性气体的方法，避免开启压缩机自身平衡系统，既保证了系统的输出，又防止了因补充高压工艺气体携带微量杂质，而导致压缩机的膜片损坏的情况发生，该系统既简化了生产工艺，又提高了生产效率，因此该系统具有广阔的市场前景。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐（1）、压缩机后缓冲罐（2）、压缩机（3）、低压工艺气体导入管道（4）、高压工艺气体补充管道（5）、工艺气体导出管道（6）、工艺气体压力平衡连接管道（10），所述压缩机前缓冲罐（1）与压缩机（3）通过管道相连，压缩机（3）与压缩机后缓冲罐（2）通过管道相连，压缩机前缓冲罐（1）与压缩机后缓冲罐（2）通过工艺气体压力平衡连接管道（10）相连，所述压缩机前缓冲罐（1）上设置有低压工艺气体导入管道（4），所述压缩机后缓冲罐（2）上设置有高压工艺气体补充管道（5）和工艺气体导出管道（6），其特征在于：所述工艺气体压力平衡连接管道（10）上设置有阀门（9）和自动调节阀（7），所述阀门（9）和自动调节阀（7）之间设置有惰性气体导入管道（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱宝毅，邓新贵，李俊，陈惟勤，刘芳，
申请(专利权)人：江西景德半导体新材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：