一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统，包括导热油加热装置（4）、导热油降温装置（5）、流化床反应器（2）、指形管（1）、导热油泵（6），所述导热油加热装置（4）通过管道一（9）与设置在流化床反应器（2）内的指形管（1）相连接，所述指形管（1）通过管道二（12）与导热油降温装置入油管（10）和导热油泵入油管（11）相连接，所述导热油降温装置出油管（13）和导热油泵出油管（14）分别与管道（9）相连，所述管道二（12）上连接有过滤器（3）。本导热油过滤循环系统结构简单、性能稳定、杜绝了三氯氢硅合成过程中导热油管道堵塞现象的出现，因此该系统具有广阔的市场前景。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统，包括导热油加热装置（4）、导热油降温装置（5）、流化床反应器（2）、指形管（1）、导热油泵（6），所述导热油加热装置（4）通过管道一（9）与设置在流化床反应器（2）内的指形管（1）相连接，所述指形管（1）通过管道二（12）与导热油降温装置入油管（10）和导热油泵入油管（11）相连接，所述导热油降温装置出油管（13）和导热油泵出油管（14）分别与管道一（9）相连，其特征在于：所述管道二（12）上连接有过滤器（3）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，朱宝毅，陈惟勤，刘芳，
申请(专利权)人：江西景德半导体新材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：