温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统，包括导热油加热装置（4）、导热油降温装置（5）、流化床反应器（2）、指形管（1）、导热油泵（6），所述导热油加热装置（4）通过管道一（9）与设置在流化床反应器（2）内的指形管（1）相连接，...该专利属于江西景德半导体新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西景德半导体新材料有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统，包括导热油加热装置（4）、导热油降温装置（5）、流化床反应器（2）、指形管（1）、导热油泵（6），所述导热油加热装置（4）通过管道一（9）与设置在流化床反应器（2）内的指形管（1）相连接，...