一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种由四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置，包括：带有加热装置的四氯化硅储罐；氢气储罐；氩气储罐；具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐；氢化反应器，通过装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连；射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上；除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器；冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器；气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置；气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。本实用新型专利技术一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：?一个带有加热装置的四氯化硅储罐；?一个氢气储罐；?一个氩气储罐；?一个具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐；?一个氢化反应器，通过一个装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连；?一台射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上；?一个除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器；?一个冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器；?一个气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置；?一个气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎学明，郭威，李晓林，杨文静，吴友恒，罗彬彬，徐永燕，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：实用新型
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