【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种化工设备，属于化学工艺
，具体涉及以四氯化硅为原料制取三氯氢硅，尤其涉及等离子体诱导四氯化硅氢化还原为三氯氢硅的装置。
技术介绍
目前，随着太阳能发电需求量的增加，多晶硅已成为十分重要的太阳能光伏用原材料。目前，改良西门子法是国内外生产多晶硅的主流工艺，该工艺需要复杂的分离装置，控制难度较大，且产生大量的副产物四氯化硅，造成环境污染。针对目前多晶硅生产过程中产生的大量四氯化硅污染环境的问题，工业化生产中常通过热氢化技术将四氯化硅转化为多晶硅生产用原料三氯氢硅，该转化过程存在一次转化率低、能耗高、设备投资大等不足。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置，该装置一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。为了实现上述目的，本技术提供了 一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置,包括:一个带有加热装置的四氯化硅储罐；一个氢气储罐；一个氩气储罐；一个具有保温功能的混合气体储罐，与四氯化硅储罐和氢气储罐相连；一个微波等离子体反应器，该反应器通过装有计量阀门的管道分别与混合气体储罐和氩气储罐相连...
【技术保护点】
一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置，其特征在于，包括：?一个带有加热装置的四氯化硅储罐；?一个氢气储罐；?一个氩气储罐；?一个具有保温功能的混合气体储罐，与四氯化硅储罐和氢气储罐相连；?一个微波等离子体反应器，该反应器通过装有计量阀门的管道分别与混合气体储罐和氩气储罐相连；?一台微波等离子发生器，通过微波匹配器与微波等离子体反应器的波导腔相连；?一个除尘器，与微波等离子体反应器的反应腔相连，微波等离子体反应腔中的气体通过压力差进入除尘器；?一个冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压差进入冷凝器；?一个气液分离器，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黎学明，李晓林，杨文静，吴友恒，罗彬彬，徐永燕，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：实用新型
国别省市：
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