用于抛光头的气缸制造技术

本发明专利技术公开了一种用于抛光头的气缸。所述气缸包括缸体，缸体内具有腔室，缸体上设有第一和第二进气通道；活塞，活塞设在腔室内以将腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中第一进气通道与上子腔室连通且第二进气通道与下子腔室连通；和活塞杆，活塞杆设在腔室内且活塞杆的下端伸出缸体，活塞杆与活塞相连以便在活塞的带动下上下移动，其中腔室的顶壁和活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，腔室的顶壁和活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在凹槽内的凸起，凹槽的形状与凸起的形状适配以便缸体带动活塞杆旋转。根据本法明实施例的用于抛光头的气缸不仅可以带动晶圆上下移动，而且可以传递较大的扭矩。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气缸，具体而言，涉及一种用于抛光头的气缸。
技术介绍
在化学机械抛光过程中，抛光头起着非常重要的作用。现有的一类抛光头采用有蜡贴片的方式进行晶圆的拾取和固定。现有的另一类抛光头本身不能上下移动，在拾取晶圆时，需要工位盘上下移动才可以实现拾取晶圆。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种用于抛光头的气缸。为了实现上述目的，根据本专利技术实施例提出一种用于抛光头的气缸，所述气缸包括缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配以便所述缸体带动所述活塞杆旋转。根据本专利技术实施例所述的用于抛光头的气缸通过在所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有所述凹槽且在所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的所述凸起，并且所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配，从而不仅可以使所述缸体带动所述活塞杆旋转，而且可以使所述活塞杆上下移动。由此根据本专利技术实施例的气缸可以带动吸附在吸附盘组件上的晶圆上下移动。另外，根据本专利技术实施例的用于抛光头的气缸还可以具有如下附加技术特征:根据本专利技术的一个实施例，所述凹槽和所述凸起中的每一个的横截面为多边形、长圆形或半圆形。由此不仅可以使所述气缸传递更大的扭矩，而且可以降低所述凹槽和所述凸起的加工难度。根据本专利技术的一个实施例，所述缸体包括本体和设在所述本体上的连接法兰，所述连接法兰与所述本体限定出所述腔室，其中所述连接法兰的下表面上设有所述凹槽或所述凸起。由此可以使所述缸体的结构更加合理，并且可以降低所述凹槽的加工难度。根据本专利技术的一个实施例，所述第一和第二进气通道中的每一个的一部分设在所述连接法兰上且另一部分设在所述本体上，所述第一进气通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端与所述上子腔室相连，所述第二进气通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端与所述下子腔室相连。由此可以使所述气缸的结构更加合理，而且可以降低所述第一进气通道所述和第二进气通道的加工难度。根据本专利技术的一个实施例，所述缸体还包括工艺通道，所述工艺通道的一部分设在所述连接法兰上且另一部分设在所述本体上，所述工艺通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端设在所述本体的外周面上。由此可以使所述气缸的结构更加合理，而且可以降低所述工艺通道的加工难度。根据本专利技术的一个实施例，所述连接法兰上设有沿上下方向定向的传动销，所述传动销的上端向上延伸超出所述连接法兰的上表面。由此可以使所述气缸传递更大的扭矩。根据本专利技术的一个实施例，所述缸体上设有与外界连通的上气体通道，所述活塞杆内具有上端和下端均敞开的空腔，所述空腔的上端与所述上气体通道连通。由此可以使所述抛光头的结构更加合理、简洁。根据本专利技术的一个实施例，所述缸体包括本体和设在所述本体上的连接法兰，所述连接法兰与所述本体限定出所述腔室，所述连接法兰的下表面上设有所述凹槽或所述凸起，其中所述上气体通道设在所述连接法兰上，所述上气体通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端与所述空腔的上端连通。由此可以降低所述上气体通道的加工难度，且可以使所述上气体通道更加容易地与外界连通。根据本专利技术的一个实施例，所述上气体通道内设有第一快换接头，所述空腔内设有气管，所述气管的上端与所述第一快换接头相连。由此可以更加方便地、容易地通过所述上气体通道和所述下气体通道抽真空以及通入气体。根据本专利技术的一个实施例，所述活塞杆的下表面上设有定位销。由此可以提高所述旋转基盘的安装精度，进而可以提高所述晶圆的抛光均匀性。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是具有根据本专利技术实施例气缸的抛光头的结构示意图；图2是具有根据本专利技术实施例气缸的抛光头的局部结构示意图；图3是根据本专利技术实施例的气缸的剖视图；图4是根据本专利技术实施例的抛光头的气缸的剖视图；图5是根据本专利技术实施例的气缸的结构示意图；图6是根据本专利技术实施例的气缸的结构示意图；图7是具有根据本专利技术实施例气缸的抛光头的剖视图；图8是图7中的A区域的放大图；图9是图7中的B区域的放大图；图10是图7中的C区域的放大图11是具有根据本专利技术实施例气缸的抛光头的结构示意图。具体实施例方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1-图11所示，具有根据本专利技术实施例气缸10的抛光头I包括气缸10、旋转基盘组件20、固定盘组件30、吸附盘组件40和保持环组件50。首先参考图1-图7描述根据本专利技术实施例的气缸10。如图1-图7所示，根据本专利技术实施例的气缸10包括缸体110、活塞130和活塞杆140。缸体110内具有腔室120，缸体110上设有分别与腔室120连通的第一进气通道111和第二进气通道112，第一进气通道111和第二进气通道112适于与气源相连。换言之，第一进气通道111和第二进气通道112均与腔室120连通。活塞130设在腔室120内以将腔室120分隔为上子腔室121和下子腔室122，其中第一进气通道111与上子腔室121连通且第二进气通道112与下子腔室122连通。活塞杆140设在腔室120内且活塞杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于抛光头的气缸，其特征在于，包括：缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配以便所述缸体带动所述活塞杆旋转。

【技术特征摘要】
1.一种用于抛光头的气缸，其特征在于，包括: 缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连； 活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和 活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配以便所述缸体带动所述活塞杆旋转。2.根据权利要求1所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述凹槽和所述凸起中的每一个的横截面为多边形、长圆形或半圆形。3.根据权利要求1所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述缸体包括本体和设在所述本体上的连接法兰，所述连接法兰与所述本体限定出所述腔室，其中所述连接法兰的下表面上设有所述凹槽或所述凸起。4.根据权利要求2所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述第一和第二进气通道中的每一个的一部分设在所述连接法兰上且另一部分设在所述本体上，所述第一进气通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：路新春，许振杰，周顺，何永勇，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：