【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气缸，具体而言，涉及一种用于抛光头的气缸。
技术介绍
在化学机械抛光过程中，抛光头起着非常重要的作用。现有的一类抛光头采用有蜡贴片的方式进行晶圆的拾取和固定。现有的另一类抛光头本身不能上下移动，在拾取晶圆时，需要工位盘上下移动才可以实现拾取晶圆。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种用于抛光头的气缸。为了实现上述目的，根据本专利技术实施例提出一种用于抛光头的气缸，所述气缸包括缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所...
【技术保护点】
一种用于抛光头的气缸，其特征在于，包括：缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的...
【技术特征摘要】
1.一种用于抛光头的气缸，其特征在于，包括: 缸体，所述缸体内具有腔室，所述缸体上设有分别与所述腔室连通的第一和第二进气通道，所述第一和第二进气通道适于与气源相连； 活塞，所述活塞设在所述腔室内以将所述腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中所述第一进气通道与所述上子腔室连通且所述第二进气通道与所述下子腔室连通；和 活塞杆，所述活塞杆设在所述腔室内且所述活塞杆的下端伸出所述缸体，所述活塞杆与所述活塞相连以便在所述活塞的带动下上下移动，其中所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的一个上设有凹槽，所述腔室的顶壁和所述活塞杆的上表面中的另一个上设有配合在所述凹槽内的凸起，所述凹槽的形状与所述凸起的形状适配以便所述缸体带动所述活塞杆旋转。2.根据权利要求1所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述凹槽和所述凸起中的每一个的横截面为多边形、长圆形或半圆形。3.根据权利要求1所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述缸体包括本体和设在所述本体上的连接法兰，所述连接法兰与所述本体限定出所述腔室，其中所述连接法兰的下表面上设有所述凹槽或所述凸起。4.根据权利要求2所述的用于抛光头的气缸，其特征在于，所述第一和第二进气通道中的每一个的一部分设在所述连接法兰上且另一部分设在所述本体上，所述第一进气通道的上端设在所述连接法兰的上表面上且下端与所述...
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