【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种压电陶瓷驱动器，特别是涉及一种基于柔性机构的位移传感器式压电陶瓷驱动器。
技术介绍
微进给刀架系统由于其具有的高分辨率、高带宽以及快速的响应性在超精密加工领域得到了非常广泛的应用，随着科学技术的发展以及工业领域需求的加大，近年来，微进给刀架系统也在精密机床的运动误差补偿方面以及非轴对称的光学仪器加工领域得到了重要的应用。对于一个微进给刀架系统而言，对于驱动器部件的研发一直是近年来研究的重点，驱动器的定位精度与运动精度直接决定了微进给刀架系统性能的优劣。压电陶瓷驱动器由于其体积小、响应速度快、摩擦小、无需润滑等特点得到了广泛的应用，但是它也有以下缺点:输出位移小、不能承受很大的拉力和扭力、存在迟滞非线性等特点。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种具有较高刚度、较高输出位移以及较高固有频率的基于柔性机构的位移传感器式压电陶瓷驱动器。本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种基于柔性机构的位移传感器式压电陶瓷驱动器，包括柔性机构、连接体、基体、位移传感器、管型压电陶瓷和压电陶瓷套筒，所述柔性机构由两个相...
【技术保护点】
一种基于柔性机构的位移传感器式压电陶瓷驱动器，其特征在于，包括柔性机构、连接体、基体、位移传感器、管型压电陶瓷和压电陶瓷套筒，所述柔性机构由两个相互垂直的双平行四杆机构组成，两个所述双平行四杆机构共用一根中心杆，每个所述双平行四杆机构的相邻杆件之间均通过柔性铰链连接；所述中心杆的一端设有刀架的安装位置，所述中心杆的另一端通过所述压电陶瓷套筒与所述基体连接，所述压电陶瓷套筒内安装有所述管型压电陶瓷，所述管型压电陶瓷内设有安装在所述基体上的所述位移传感器，用于感知所述中心杆的位移信号，所述管型压电陶瓷驱动所述中心杆；所述柔性机构中与所述中心杆平行的四个边杆各通过一所述连接体与所述基体连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性机构的位移传感器式压电陶瓷驱动器，其特征在于，包括柔性机构、连接体、基体、位移传感器、管型压电陶瓷和压电陶瓷套筒， 所述柔性机构由两个相互垂直的双平行四杆机构组成，两个所述双平行四杆机构共用一根中心杆，每个所述双平行四杆机构的相邻杆件之间均通过柔性铰链连接； 所述中心杆的一端设有刀架的安装位置，所述中心杆的另一端通过所述压电陶瓷套筒与所述基体连接，所述压电陶瓷套筒内安装有所述管型压电陶瓷，所述管型压电陶瓷内设有安装在所述基体上的所述位移传感器，用于感知所述中心杆的位移信号，所述管型压电陶瓷驱动所述中心杆； 所述柔性机构中与所述中心杆平行的四个边杆各通过一所述连接体与所述基体连接。2....
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