陶瓷基底压阻式应变片制造技术

本实用新型专利技术提供一种陶瓷基底压阻式应变片，由陶瓷基片、导体层、具有压阻效应的电阻层、绝缘保护层以及封接玻璃层组成，导体层、电阻层制作在陶瓷基片的上表面，并在导体层和电阻层的上部覆盖绝缘保护层，封接玻璃层制作在陶瓷基片的下表面。本实用新型专利技术可以用来制造耐高温耐腐蚀的称重及压力等力敏传感器，并且精度高、稳定性好、使用寿命长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及用于制造力敏传感器的应变片，特别涉及一种陶瓷基底压阻式应变片。
技术介绍
应变式力敏传感器，是将应变片粘贴在传感器弹性体上形成的，比如称重、加速度及压力等传感器，应变片的性能直接决定了这种类型传感器的性能。如图1 图6所示，传统的应变片是由基底101、电阻敏感栅102和绝缘保护层103构成。基底101的作用是固定电阻敏感栅102，使它保持一定的几何形状，同时也起绝缘作用。基底101通常采用环氧、缩醛、聚酰亚胺等柔性材料制成。电阻敏感栅102用合金箔材，通过热压的方法和基底101结合在一起，然后通过光刻腐蚀等工艺形成栅条。参考图1、图2，因适合做应变电阻的金属或合金材料电阻率较小，需要较长的栅条102、202长度才能形成较大的电阻值，这就增加了工艺难度，即使这样，通常这种应变片的阻抗也难以超过IKQ。绝缘保护层103是用绝缘薄膜热压或用液态绝缘材料涂覆的方法形成。应变片和弹性体是用粘合剂粘结在一起的，粘接性能直接影响到传感器的温漂、蠕变、滞后、非线性、稳定性和使用寿命，通常都是用环氧树脂等有机粘合剂。由于有机物易老化，采用上述应变片及粘结工艺制造的传感器，稳定性差、寿命短，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陶瓷基底压阻式应变片，其特征在于：包括陶瓷基片（301），在所述陶瓷基片（301）的上表面有导体层（302）和电阻层（303）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周敬训，
申请(专利权)人：无锡莱顿电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：