【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种表面形貌测量设备，其包括：检测器，其包括：测量臂，所述测量臂由主体支撑并且构造成以以支撑轴作为支撑点进行枢转的方式沿圆弧移动，并且所述测量臂在顶端设置有触针；位移检测器，所述位移检测器构造成检测所述测量臂的圆弧运动量；和测量力施加器，所述测量力施加器构造成在圆弧运动方向上对所述测量臂施力，所述测量力施加器还构造成将测量力施加到所述触针；台架，所述台架构造成承载被测物；相对移位器，所述相对移位器包括检测器移位器，所述检测器移位器构造成使所述检测器在所述测量臂的轴向方向上移动，所述相对移位器还构造成使所述检测器和所述台架相对移动；检测器倾斜器，所述检测器倾斜器使所述检测器的运动方向相对于所述台架倾斜，其中：在所述触针与所述被测物的表面接触的状态中，在所述相对移位器使所述检测器和所述台架相对移动的同时，所述位移检测器检测所述测量臂的圆弧运动量；基于所述圆弧运动量测量所述被测物的表面形貌；并且所述测量臂包括：第一测量臂，所述第一测量臂在能够以以所述支撑轴作为支撑点进行枢转的方式进行圆弧运动的状态中由所述主体支撑；和第二测量臂，所述第二测量臂经由附接件?拆卸件以可附接和可拆卸的方式设置在所述...
【技术特征摘要】
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