线缆导向装置以及包含有该装置的工件台系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种线缆导向装置以及包含该装置的工件台系统，线缆导向装置包括若干个内架和外架，所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构；所述内架包括两块平行布置的内肋板，两内肋板的两端由中心轴固定在一起，且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽；所述外架包括两块平行布置的外肋板，这两块外肋板分别布置在所述两内肋板的外侧、并通过轴承与所述中心轴连接。该装置占用空间小，在工作时仅有十分微小的摩擦，避免了装置磨损的现象，可在高纯度环境要求的精密设备上使用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种线缆导向装置(2)，其特征在于：它包括若干个内架和外架，所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构；所述内架包括两块平行布置的内肋板(22)，两内肋板的两端由中心轴(21)固定在一起，且这两块内肋板之间装有供线缆穿过的线缆槽(25)；所述外架包括两块平行布置的外肋板(23)，这两块外肋板分别布置在所述两内肋板(22)的外侧、并通过轴承(24)与所述中心轴(21)连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘剑，袁志扬，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：