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本发明公开了一种线缆导向装置以及包含该装置的工件台系统，线缆导向装置包括若干个内架和外架，所述的内架和外架沿水平方向彼此交替布置、且依次首尾连接而形成能够展开和合拢的链状结构；所述内架包括两块平行布置的内肋板，两内肋板的两端由中心轴固定在一...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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