一种A1ZrCrN复合双梯度涂层刀具及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种A1ZrCrN复合双梯度涂层刀具及其制备方法，采用非平衡闭合场磁控溅射离子镀法制备双梯度复合涂层刀具，所得涂层刀具沿垂直基体表面方向自里向外依次为Cr过渡层、梯度CrN过渡层、梯度AlZrCrN过渡层与A1ZrCrN层，使得涂层之间的过渡更为平滑，能够明显降低涂层刀具在使用过程中各涂层之间的残余热应力，极大的提高了刀具的涂层质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种A1ZrCrN复合双梯度涂层刀具的制备方法，先对刀具基体进行超声清洗，然后将刀具基体与所需靶材放入镀膜机真空室，并对刀具基体进行辉光放电清洗和离子清洗，之后进行镀膜，其特征在于：镀膜工艺步骤如下：（1）Cr过渡层镀膜阶段：真空室抽真空后，通入Ar气，使真空室Ar气气体分压为0.4~0.6?Pa，刀具基体两端偏压调为100~250?V，在将Cr靶电流调整为15A的同时，开启并保持Al靶电流0.4A、Zr靶电流0.2A，时间为3.5?4.5min；（2）梯度CrN过渡层镀膜阶段：向真空室内通入N2气，并调整Ar气的通入量，使N2气与Ar气的分压比为1.5:1，真空室内的气压为0.4~0.6?P...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李彬，
申请(专利权)人：洛阳理工学院，
类型：发明
国别省市：