V型手臂校正工具制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体制作领域，尤其涉及一种V型手臂的辅助工具。
技术介绍
在半导体制作领域中，通常使用V型手臂对晶圆进行运输，V型手臂通常包括第一手臂与第二手臂，两个手臂一端的位置共同固定，另一端围绕固定端做旋转运动，从而完成对晶圆的传输。 V型手臂是传送系统中非常重要的一个环节，它的主要作用是和阻隔室配合将晶圆从大气中传送进入高真空的阻隔室，位置不能偏离阻隔室的槽。目前V型手臂的正确位置是通过阻隔室的上下反复运动，由工程师观察晶圆在阻隔室中是否有偏离，如果有，则需要重新设定V型马达参数，然后再重复上面的操作。这样费时、费力，还不准确。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置的工具。 为解决这一技术问题，本技术提供了一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安...
【技术保护点】
一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于：所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入
槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于：所述V型手
臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直
连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述
V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述
检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。
2.如权利要求1所述的V型手臂校正工具，其特征在于：所述固定部通过设
在V型手臂上的类椭圆形洞与所述V型手臂连接，所述固定部的横截面形状
与所述类椭圆形洞相同。
3.如权利要求2所述的V型手臂校正工具，其特征在于：所述固定部的横截
面包括两个互相对称的第一半圆形和第二半圆形，以及一个矩形，所述第一半
圆形和第二半圆形分别设置于所述矩形的长度方向的两端，所述第一半圆形和
第二半圆形的直径等于所述矩形的宽度，所述第一半圆形和第二半圆形的直径
技术研发人员：陈中林，刘群超，陈晓，单易飞，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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