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本实用新型提供了一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于：所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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