应力诱导电阻变化的补偿制造技术

技术编号：8745928 阅读：173 留言：0更新日期：2013-05-30 01:13

根据本发明专利技术，提供了一种用于对半导体电阻器元件的电阻的应力诱导变化进行补偿的方法，所述方法包括以下步骤：提供半导体器件，所述半导体器件包括所述半导体电阻器元件和参考设备，其中，所述参考设备包括金属参考电阻器(30)和半导体参考电阻器(32)；通过对所述金属参考电阻器的电阻和所述半导体参考电阻器的电阻的应力诱导改变，或者与所述应力诱导改变在功能上相关的至少一个量进行测量，来产生补偿参数；以及使用所述补偿参数来对所述半导体电阻器元件的电阻的应力诱导变化进行补偿。