一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置制造方法及图纸

技术编号:8739310 阅读:202 留言:0更新日期:2013-05-26 14:54
本实用新型专利技术涉及一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,包括钨杆、籽晶夹头和籽晶,其中:钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔,钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后,通过贯穿钨杆和籽晶夹头定位孔的固定钨丝定位;籽晶夹头与籽晶装配区的一面为开口面,籽晶夹头内部为梯形燕尾槽,籽晶上端为梯形结构,籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨丝将它们固定连接。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体生长用的籽晶装置,尤其是一种用于泡生法蓝宝石单晶炉晶体生长用的籽晶装置。
技术介绍
蓝宝石单晶炉是LED产业链中重要的晶体生长设备。目前,世界上用于蓝宝石单晶体生长的主流方法有以下几种:导模法、提拉法、热交换法和泡生法。泡生法在引晶、扩肩生长后的晶锭直径较大,有利于生长出大尺寸、低缺陷密度、高品质的蓝宝石单晶体,因此具有更大的优势。泡生法是将一根受冷的籽晶与三氧化二铝熔液接触后熔化。当界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长,为了使籽晶晶体不断长大,需逐渐降低熔体的温度,同时旋转籽晶装置,以改善熔体的温度分布。当晶体生长到一定阶段时,须缓慢上提籽晶装置,以扩大散热面。因此,泡生法蓝宝石单晶炉内的籽晶装置的可靠性与稳定性至关重要。目前,用于泡生法晶体生长的籽晶装置结构多样,采用整体式金属钨制成的籽晶杆的结构,因钨材料的脆性而很不利于加工;采用分体销轴式金属钨制成的籽晶夹头,未设置燕尾槽结构,而是通过钨销将籽晶装配于籽晶夹头上,不利于拆装,且使用过程中安全可靠性不高。目前,在泡生法蓝宝石单晶炉中采用螺纹装配式籽晶装置,并在籽晶夹头上设置与籽晶端部相吻合的燕尾槽,并通过捆扎钨丝固定以预防籽晶使用过程中侧滑的设计未见诸报道。
技术实现思路
本技术的目的在于:针对现有泡生法蓝宝石长晶炉的籽晶装置采用整体式籽晶杆不利于加工,分体销轴式金属钨制成的籽晶夹头,不利于拆装,且使用过程中安全可靠性不高等问题,提供一种新型可靠的用于泡生法蓝宝石单晶炉的籽晶装置。本技术的目的是这样实现的:一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,包括钨杆、籽晶夹头和籽晶,其特征在于:a)钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔,钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后,通过贯穿于定位孔中的固定钨丝定位;b)籽晶夹头中的籽晶装配区一面为开口面,籽晶夹头内部为梯形燕尾槽,籽晶上端为梯形结构,籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头的梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨丝将它们固定连接。在本技术方案中:籽晶夹头外围沿截面至少设有一道用于捆扎钨丝的凹槽,所述的捆扎钨丝置于凹槽中。在本技术方案中:所述的钨杆、籽晶夹头均为金属钨材料的锻造件,所述的固定钨丝为钨铼丝,所述的捆扎钨丝为钨铝丝。在本技术方案中:所述的籽晶的材料成分为高纯三氧化二铝单晶体。本技术的优点在于:由于籽晶杆采用螺纹装配结构,便于实现,提高了钨杆及籽晶夹头的可加工性能;由于籽晶夹头采用燕尾槽结构与籽晶装配,并用钨铝丝捆扎,易于拆装和配合,且提高了籽晶装置的安全可靠性。附图说明图1是本技术涉及的一种实施例结构示意图;图2是图1中实施例的侧视图。图中:1、鹤杆,2、杆晶夹头,3、固定鹤丝,4、杆晶,5、拥扎鹤丝。具体实施方式附图非限制性地公开了本技术涉及的一种实施例的具体结构,以下结合附图对本专利技术的这一实施例作进一步地描述。由图1和图2可见,钨杆I与籽晶夹头2设有对应的定位孔,钨杆I下端通过螺纹与籽晶夹头2连接后,通过贯穿于定位孔中的固定钨丝3定位。籽晶夹头2中的籽晶4装配区一面为开口面,籽晶夹头2内部为梯形燕尾槽,籽晶4上端为梯形结构,籽晶4上端由开口面嵌入籽晶夹头2的梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨5丝将它们固定连接。在本实施例中:籽晶夹头2外围沿截面至少设有一道用于捆扎钨丝5的凹槽,所述的捆扎钨丝5置于凹槽中。所述的钨杆1、籽晶夹头2均为金属钨材料的锻造件,所述的固定钨丝3为钨铼丝,所述的捆扎钨丝5为钨铝丝。所述的籽晶4的材料成分为高纯三氧化二铝单晶体。权利要求1.一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,包括钨杆、籽晶夹头和籽晶,其特征在于:a)钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔,钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后,通过贯穿于定位孔中的固定钨丝定位;b)籽晶夹头中的籽晶装配区一面为开口面,籽晶夹头内部为梯形燕尾槽,籽晶上端为梯形结构,籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头的梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨丝将它们固定连接。2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,其特征在于:籽晶夹头外围沿截面至少设有一道用于捆扎钨丝的凹槽,所述的捆扎钨丝置于凹槽中。3.根据权利要求1或2所述的用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,其特征在于:所述的钨杆、籽晶夹头均为金属钨材料的锻造件,所述的固定钨丝为钨铼丝,所述的捆扎钨丝为钨铝丝。4.根据权利要求1或2所述的用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,其特征在于:所述的籽晶的材料成分为高纯三氧化二铝单晶体。专利摘要本技术涉及一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,包括钨杆、籽晶夹头和籽晶,其中钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔,钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后,通过贯穿钨杆和籽晶夹头定位孔的固定钨丝定位;籽晶夹头与籽晶装配区的一面为开口面,籽晶夹头内部为梯形燕尾槽,籽晶上端为梯形结构,籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨丝将它们固定连接。文档编号C30B17/00GK202945367SQ20122049398公开日2013年5月22日 申请日期2012年9月26日 优先权日2012年9月26日专利技术者闫杰, 李辉, 毛洪英, 姜宏伟 申请人:南京晶升能源设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置,包括钨杆、籽晶夹头和籽晶,其特征在于:?????a)钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔,钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后,通过贯穿于定位孔中的固定钨丝定位;?????b)籽晶夹头中的籽晶装配区一面为开口面,籽晶夹头内部为梯形燕尾槽,籽晶上端为梯形结构,籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头的梯形燕尾槽中,并通过捆扎钨丝将它们固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:闫杰李辉毛洪英姜宏伟
申请(专利权)人:南京晶升能源设备有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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