【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种泡生法晶体生长炉中的电极加热器,特别涉及一种分立电极式加热器。
技术介绍
泡生法晶体生长炉常用“鸟笼式”加热器,它由一对电极,一对半圆铜环,和若干加热棒组成。钨棒为加热元件,通常为“U”型,从一个电极连接到另一个电极。形成一种加热器。由于加热器侧面的钨棒均匀分布,底部交叉,也被称为“鸟笼式”加热器。其结构具有以下缺点:侧面加热棒分布均匀,但底部加热棒分布不均匀;底部加热棒交叉重叠,与侧面相比,提供热量太多,即底部供热与侧面供热比例失调;底部结构固定,不可调节;加热器维护不便。一旦某个加热棒损坏,很难更换。因此需要对加热器的结构进行改进,以避免现有结构的缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种分立电极式加热器,解决了现有加热器,底部加热棒分布不均匀,底部供热与侧面供热比例失调,底部结构固定,不可调节,以及加热器维护不便、加热棒更换困难的问题。为达此目的,本技术采用以下技术方案:—种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,所述炉体上方布置有一对以上的电极,所述一对以上的电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布。优选的,所述加热棒为钨棒。优选的,所述加热棒底部为“L”型。优选的,所述每个电极上连接有2个以上的加热棒。本技术加热器的电极形成环状,加热棒分别与邻近的电极连接,加热棒底部做成“L”型,使得加热器侧面和底部都可以均匀分布,而且加热器底部结构和长度可以调整,从而调节底部与侧面供热比例,加热器便于维护,一旦某个加热棒损坏,可以单独更换。附图说明图1是现有“鸟笼式”加热器结构示意图;图2是图1的俯视图;图3是本技术 ...
【技术保护点】
一种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,其特征在于:所述加热器设有一对以上的电极,所述电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布。
【技术特征摘要】
1.一种分立电极式加热器,包括电极、加热棒,其特征在于:所述加热器设有一对以上的电极,所述电极组成环状,所述加热棒分别与邻近电极连接,所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布。2.根据权利要求1所述的一种分立电极式加热...
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