【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种闭环驱动电路，尤其是一种采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路，属于MEMS技术与CMOS技术融合设计的
技术介绍
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)技术是当今 IC 行业发展的一大热点领域，其中以微加速度计为代表的器件已经在多方面得到应用，但是传统的MEMS技术仍然面对诸多技术难题，其中以信号微弱、无法与CMOS工艺兼容和谐振频率的偏移等技术成为现在发展的主要限制因素。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路，其结构紧凑，将MEMS微加速度计与CMOS读出电路融合设计，能将MEMS微加速度计的信号读出放大，降低读出电路的噪声失调，且能驱动MEMS微加速度计，安全可靠。按照本专利技术提供的技术方案，所述采用斩波技术的MEMS微加速计闭环驱动电路，包括MEMS微加速度计电路；所述MEMS微加速计电路的输出端与CMOS读出电路连接，所述CMOS读出电路通过反馈驱动电路与MEMS微加速度计电路的驱动端连接，以提供MEMS微加...
【技术保护点】
一种采用斩波技术的MEMS微加速计闭环驱动电路，包括MEMS微加速度计电路；其特征是：所述MEMS微加速计电路的输出端与CMOS读出电路连接，所述CMOS读出电路通过反馈驱动电路与MEMS微加速度计电路的驱动端连接，以提供MEMS微加速度计电路的驱动电压；所述CMOS读出电路包括用于接收MEMS微加速计电路输出信号的调制器（102），所述调制器（102）的输出端与放大器（103）连接，所述放大器（103）的输出端与带通滤波器（104）连接，所述带通滤波器（104）的输出端与解调器（105）连接，所述解调器（105）的输出端与低通滤波器（106）连接；调制器（102）将MEM...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何鑫，王玮冰，
申请(专利权)人：江苏物联网研究发展中心，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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