微机械器件以及用于制造微机械器件的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，本发明专利技术规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明专利技术还涉及一种用于制造微机械器件的方法。

【技术实现步骤摘要】
微机械器件以及用于制造微机械器件的方法
本专利技术涉及一种微机械器件以及一种用于制造微机械器件的方法。
技术介绍
微机械器件或微机械结构或微机械系统例如从公开文献DE102009045391A1、DE102008001442A1和DE102007060878A1已知。
技术实现思路
本专利技术所基于的任务在于，提出一种改进的微机械器件以及一种改进的用于制造微机械器件的方法。这些任务借助各独立权利要求的相应主题来解决。有利的扩展方案是相应从属权利应要求的主题。根据一个方面提出了一种微机械器件。该微机械器件包括一衬底和一振动质量，该振动质量在第一悬架上与衬底连接。此外还设置有至少一个第一电极，用于检测振动质量在第一方向上的运动，其中，第一电极在第二悬架上与衬底连接。此外，该器件包括至少一个第二电极，用于检测振动质量在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极在第三悬架上与衬底连接。规定，第一电极借助支承臂与第二悬架机械连接并且与第二悬架隔开间距地设置。根据另一方面，提供一种用于制造微机械器件、尤其是前述微机械器件的方法。该方法尤其是可以构建为微机械方法，即微机械制造方法。该方法尤其包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械器件（101，301，401），包括：?衬底（102），?振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接，?至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中，第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接，?至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，其特征在于，?第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。

【技术特征摘要】
2011.10.27 DE 102011085305.7;2012.01.19 DE 1020121.一种微机械器件(101，301，401)，包括：-衬底(102)，-振动质量(103)，其在第一悬架(105)上与衬底(102)连接，-至少一个第一电极(117)，用于检测振动质量(103)在第一方向上的运动，其中，第一电极(117)在第二悬架(109)上与衬底(102)连接，-至少一个第二电极(127；127a；127b)，用于检测振动质量(103)在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极(127；127a；127b)在第三悬架(125)上与衬底(102)连接，-第一电极(117)借助支承臂(111)与第二悬架(109)机械连接并且与第二悬架(109)隔开间距地设置，其特征在于，第一电极(117)与第二悬架(109)之间的距离大于第一悬架(105)与第二悬架(109)之间的距离。2.根据权利要求1所述的微机械器件(101，301，401)，其特征在于，设置有多个第一电极(117)，其中，与这些第一电极对应的第二悬架(109)围绕第一悬架(105)对称地设置。3.根据上述权利要求之一所述的微机械器件(101，301，401)，其特征在于，所述支承臂(111)具有分支(113)，使得形成彼此隔开间距的支承臂分支，其中，在支承臂分支上分别设置有至少一个第一电极(117)。4.根据权利要求1或2所述的微机械器件(101，301，401)，其特征在于，第二电极(127；127a；127b)借助又一支承臂(303)与第三悬架(125)机械连接并且与第三悬架(125)隔开间距地设置。5.根据权利要求4所述的微机械器件(101，301，401)，其特征在于，振动质量(103)具有缺口(107)，第一悬架(105)和第二悬架(109)设置在该缺口内。6.根据权利要求5所述的微机械器件(101，301，401)，其特征在于，振动质量(103)借助两个扭转弯曲弹簧(123)与第一悬架(105)连接，其中，所述两个扭转弯曲弹簧(123)分别从第一悬架(105)向所述缺口的彼此对置的侧延伸，并且，所述支承臂(111)在振动质量(...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·克拉森，A·克尔布尔，L·特布耶，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：