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采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路制造技术
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下载采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路的技术资料
文档序号:8704200
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本发明涉及一种采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路,其包括MEMS微加速度计电路;所述MEMS微加速计电路的输出端与CMOS读出电路连接,所述CMOS读出电路通过反馈驱动电路与MEMS微加速度计电路的驱动端连接,以提供MEMS微加速...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有,仅供学习研究参考,未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。
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