一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体，其包括箱体、设置在箱体内的射频电极、设置在箱体内的与射频电极平行的接地电极以及设置在接地电极下方的接地电极驱动调节装置。本实用新型专利技术为模块化结构，可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统，通过调节装置实现了电极间距可调，可以获得最佳电极间距，以获得最佳膜层质量与生长速率，扩大了设备应用范围，满足不同膜层对电极间距的要求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体。
技术介绍
采用等离子体增强化学气相沉积系统制备硅基薄膜器件由于具有基底温度低、生长速度快、薄膜均匀性好等特点倍受青睐。随着产业化进程的发展，模块化的PECVD等离子反应内腔体将是一种发展趋势，基于这种模块化的反应内腔体可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统。大面积平行板式PECVD具有设备结构简单，可制备大面积薄膜而广泛应用于太阳能领域。目前在现有设备上多采用固定电极的PECVD反应内腔体，当PECVD电极固定后，无法根据膜层要求获得最佳极间距；同时，生长不同的薄膜往往需要不同的电极间距，可调节电极间距的PECVD系统为膜层的优化与扩大设备的应用范围提供了空间。综上，电极间距可调节的模块化大面积平行板式PECVD反应内腔体将成光伏领域的核心设备。它将为客户自由搭建PECVD系统提供空间。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种调节简单、使用方便的电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体。本技术采用如下技术方案:本技术包括箱体、设置在箱体内的射频电极、设置在箱体内的与射频电极平行的接地电极以及设置在接地电极下方的接地电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于其包括箱体（1）、设置在箱体（1）内的射频电极（2）、设置在箱体（1）内的与射频电极（2）平行的接地电极（3）以及设置在接地电极（3）下方的接地电极驱动调节装置。

【技术特征摘要】
1.种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于其包括箱体(I )、设置在箱体(I)内的射频电极(2)、设置在箱体(I)内的与射频电极(2)平行的接地电极(3)以及设置在接地电极(3)下方的接地电极驱动调节装置。2.据权利要求1所述的一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于所述的驱动调节装置包括设置在接地电极(3)下方的调节螺栓(7)以及设置在箱体(I)上的与调节螺栓(7)相配合的调节螺母(8)。3.据权利要求1所述的一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于所述的驱动调节装置由设置在接地电极(3)下方的支...

【专利技术属性】
技术研发人员：关峰，黄跃龙，马云祥，孙晓东，高锦成，王志强，王颖，李爽，延小鹏，
申请(专利权)人：保定天威薄膜光伏有限公司，
类型：实用新型
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