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本实用新型涉及一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体，其包括箱体、设置在箱体内的射频电极、设置在箱体内的与射频电极平行的接地电极以及设置在接地电极下方的接地电极驱动调节装置。本实用新型为模块化结构，可以方便的搭建单腔体或多腔体PEC...
该专利属于保定天威薄膜光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定天威薄膜光伏有限公司授权不得商用。

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