真空镀膜机射频电极制造技术

本实用新型专利技术为真空镀膜机射频电极，解决用直流电源做保护膜的速度慢，保护膜耐腐蚀时间短，工件易发黄的问题。真空箱体（1）为阳极，极板（2）为阴极，阳极和阴极与射频电源（3）连接，极板（2）下面有冷却水通过的冷却水槽（3），冷却水封板（4）的下面有磁极板（5），极板（2）的上面装有防污板（6），极板（2）装于电极安装板（9）上，真空箱法兰（7）与截面为L形的固定板（8）连接，固定板（8）和电极安装板（9）之间有截面为L形的绝缘板（10），磁极板（5）安装于支座（12）上，安装板（13）与电极安装板（9）连接，绝缘板（10）、固定板（8）的上端面装有遮挡板（14）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术与真空镀膜机做清洗和保护膜的射频电极有关。
技术介绍
工件(如汽车车灯反射板)在真空镀膜机中镀一层金属膜,在镀金属膜前,可以对工件进行清洗，提高金属膜的附着力，镀金属膜后，再做一层保护膜，可以防止金属膜被腐蚀。低气压下，充入特定气体，在两组电极间施加一定电压，气体被电离，产生的化合物附着在基片上形成保护膜。目前，所用电源为直流电源。用直流电源做保护膜的速度慢，做的保护膜耐腐蚀时间短工件易发黄。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种形成保护膜速度快，保护膜耐腐蚀，操作方便的真空镀膜机射频电极。本技术是这样实现的本技术真空镀膜机射频电极，真空箱体I为阳极，极板2为阴极，阳极和阴极与射频电源11连接，极板2下面有冷却水通过的冷却水槽3，冷却水封板4封闭冷却水槽3，冷却水封板4的下面有磁极板5，极板2的上面装有防污板6，极板2装于截面为L形的电极安装板9上，真空箱法兰7与截面为L形的固定板8连接，固定板8和电极安装板9之间有截面为L形的绝缘板10，磁极板5安装于支座12上，安装板13与电极安装板9连接，绝缘板10、固定板8的上端面装有遮挡板14。固定板8，由两板组成，两板用螺栓固定连接，电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空镀膜机射频电极，其特征在于真空箱体（1）为阳极，极板（2）为阴极，阳极和阴极与射频电源（11）连接，极板（2）下面有冷却水通过的冷却水槽（3），冷却水封板（4）封闭冷却水槽（3），冷却水封板（4）的下面有磁极板（5），极板（2）的上面装有防污板（6），极板（2）装于截面为L形的电极安装板（9）上，真空箱法兰（7）截面为L形的固定板（8）连接，固定板（8）和电极安装板（9）之间有截面为L形的绝缘板（10），磁极板（5）安装于支座（12）上，安装板（13）与电极安装板（9）连接，绝缘板（10）、固定板（8）的上端面装有遮挡板（14）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张果，王伟，姜玉伦，段晓英，何林，
申请(专利权)人：爱发科东方真空成都有限公司，
类型：实用新型
国别省市：