射频电力传输臂结构制造技术

一种射频电力传输臂结构，包含射频电力传输臂与间隙绝缘插销。射频电力传输臂包含上接地端、下接地端，与位于上接地端与下接地端之间的电极，其中上接地端与电极之间具有第一间隙，电极与下接地端之间具有第二间隙。间隙绝缘插销包含第一间隔部、第二间隔部，与连接第一间隔部和第二间隔部的连接部，其中第一间隔部插入上接地端与电极之间以维持第一间隙，第二间隔部插入电极与下接地端之间，以维持第二间隙。该射频电力传输臂结构可以避免因弯折段的上接地端、电极与下接地端之间的间隙过窄而产生的电容效应，使得电力传输更为稳定。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是有关于ー种电浆辅助化学气相沉积装置，且特别是有关于ー种电浆辅助化学气相沉积装置的电カ传输臂结构。
技术介绍
在半导体制程中，化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition ；CVD)经过不断的发展和改良，已经成为半导体制程中相当重要的薄膜沉积方式。化学气相沉积反应系藉着反应气体间的化学反应来沉积产生所需要的薄膜，所以根据欲生成的薄膜，化学气相沉积反应时的反应条件又各有不同，然而大致上可分为常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和电楽·辅助化学气相沉积(Plasma Enhan ced Chemical Vapor Deposition ；PECVD)三种。图I为ー种习知的电浆辅助化学气相沉积装置的示意图。在电浆辅助化学气相沉积制程中，提供稳定的电浆为重要的控制条件，而要产生稳定的电浆，则须提供稳定的射频电カ(此电カ的频段约为13. 56MHz，近似于射频，因而得名)。电浆辅助化学气相沉积装置 100 包含有射频电カ产生器(radio frequency power generator) 110、匹配箱(matchbox) 120、射频电カ传输臂(radio frequency arm) 130,以及反应室140。射频电カ产生器110输出射频电カ后搭配匹配箱120，将稳定功率的电カ透过射频电カ传输臂130传送至反应室140中的上电极150产生电浆。在电カ传输的过程中，若是出现干扰，容易使得反馈功率增加，加大射频电カ产生器110的负担,造成功率损失,使得成膜失败的可能性变大。因此，如何提升电浆辅助化学气相沉积装置中，电カ传输的稳定性，便成为ー个重要的课题。
技术实现思路
本技术的目的就是提供一种用于电浆辅助化学气相沉积装置的电カ传输臂结构，用以维持电カ传输的稳定性。本技术的技术方案在于提出ー种射频电カ传输臂结构,包含射频电カ传输臂与间隙绝缘插销。射频电カ传输臂包含上接地端、下接地端，与位于上接地端与下接地端之间的电极，其中上接地端与电极之间具有第一间隙，电极与下接地端之间具有第二间隙。间隙绝缘插销包含第一间隔部、第二间隔部，与连接第一间隔部和第二间隔部的连接部，其中第一间隔部插入上接地端与电极之间以维持第一间隙，第二间隔部插入电极与下接地端之间，以维持第二间隙。射频电カ传输臂包含有弯折段，间隙绝缘插销可以设置于弯折段后。间隙绝缘插销的材料可以为铁氟龙。间隙绝缘插销为C字形结构。连接部接触射频电カ传输臂。第一间隔部的厚度与第一间隙相同，第二间隔部的厚度与第二间隙相同。间隙绝缘插销的第一间隔部与第二间隔部分别插入上接地端与电极之间，以及电极与下接地端之间，以维持上接地端与电极之间的第一间隙，以及维持下接地端与电极之间的第二间隙。此间隙绝缘插销尤其适用于配置在射频电カ传输臂的弯折段的后方，以避免因弯折段的上接地端、电极与下接地端之间的间隙过窄而产生的电容效应，使得电カ传输更为稳定。附图说明图I为ー种习知的电浆辅助化学气相沉积装置的示意图。图2为本技术的射频电カ传输臂结构组装时ー实施例的示意图。图中100电浆辅助化学气相沉积装置，110射频电カ产生器，120匹配箱，130射频电カ传输臂，132、134接地端，136电极，140反应室，150上电极；200间隙绝缘插销，210第一间隔部，220第二间隔部，230连接部；300射频电カ传输臂，310上接地端，320下接地端，330电极，350弯折段，360开 孔；400间隙绝缘子，410卡榫，600电极螺丝，g第一间隙，g’第二间隙。具体实施方式以下将以图式及详细说明清楚说明本技术的精神，任何所属
中具有通常知识者在了解本技术的较佳实施例后，当可由本技术所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本技术的精神与范围。參照图1，射频电カ传输臂130为ー种三片金属组合而成的结构,上层金属片与下层金属片分别为接地端132、134,中间金属片为电カ传输的电极136。一般而言，电极136与接地端132、134之间不可导通，且电极136与接地端132、134之间的间隙需维持固定。然而，在高温环境下作业的电浆辅助化学气相沉积装置100在经过长期使用或是维修之后，容易导致电极136与接地端132、134之间的间隙过小，产生电容效应而发生导通，使得成膜失败，尤其是在射频电カ传输臂130弯折处，电极136与接地端132、134之间的间隙更难以维持，电容效应特别明显。因此，本技术便提出了一种用于电浆辅助化学气相沉基装置的射频电カ传输臂结构，其具有间隙绝缘插销，借以維持电极与接地端之间的间隙。參照图2，其为本技术的射频电カ传输臂结构ー实施例组装时的示意图。射频电カ传输臂结构包含间隙绝缘插销200与射频电カ传输臂300。间隙绝缘插销200包含一第一间隔部210、一第二间隔部220，与连接第一间隔部210与第二间隔部220的连接部230。其中第一间隔部210与第二间隔部220为相互平行的两绝缘板材，连接部230垂直于第一间隔部210与第二间隔部220。间隙绝缘插销200为ーCl字形结构。射频电カ传输臂300包含上接地端310、下接地端320，与位于其间的电极330。上接地端310与电极330之间具有第一间隙g，下接地端320与电极330之间具有第二间隙g’。第一间隔部210的厚度大致与第一间隙g相同，第二间隔部220的厚度大致与第二间隙g’相同。射频电カ传输臂300包含有弯折段350，间隙绝缘插销200可以配置在弯折段350后。当间隙绝缘插销200组装于射频电カ传输臂300时，只需要将第一间隔部210插入第ー间隙g，将第二间隔部220插入第二间隙g’，推动至定位，即将间隙绝缘插销200插入至连接部230接触射频电カ传输臂300的外缘为止。第一间隔部210维持第一间隙g，并电性隔离上接地端310与电极330，第二间隔部220維持第二间隙g’，并电性隔离电极330与下接地端320。藉此，第一间隙g与第二间隙g’被有效维持，电容效应亦不容易产生。由于射频电カ传输臂300在传输电力时会产生大量的热，间隙绝缘插销200需要可以在高温的工作环境，可能会高达摄氏300度以上，正常工作而不会过度变形。因此，间隙绝缘插销200的材料较佳地为铁氟龙(Teflon)。射频电カ传输臂结构除了前述之间隙绝缘插销200与射频电カ传输臂300タト，更包含间隙绝缘子400，用以隔离上接地端310、下接地端320与电极330。间隙绝缘子400为分布在上接地端310与电极330之间，以及分布在下接地端320与电极330之间。分布在上接地端310与电极330之间的间隙绝缘子400的厚度大致与第一间隙g相同，以维持第ー间隙g。分布在下接地端320与电极330之间的间隙绝缘子400的厚度大致与第二间隙g’的厚度相同，以维持第二间隙g’。上接地端310、下接地端320与电极330上具有开ロ，间隙绝缘子400设置在上接地端310、电极330与下接地端320之间后，利用卡榫410穿过 上接地端310、电极330、下接地端320与间隙绝缘子400固定。由于射频电カ传输臂300的工作温度相当的高，间隙绝缘子400的材料为耐高温的绝缘材料，如陶瓷或是铁氟龙。射频电カ传输臂结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频电カ传输臂结构，其特征在于，包含 一射频电カ传输臂，包含一上接地端、一下接地端，与位于该上接地端与该下接地端之间的ー电极，其中该上接地端与该电极之间具有一第一间隙，该电极与该下接地端之间具有一第二间隙；以及 一间隙绝缘插销，包含一第一间隔部、一第二间隔部，与连接该第一间隔部和该第二间隔部之ー连接部，其中该第一间隔部插入该上接地端与该电极之间以维持该第一间隙，该第二间隔部插入该电极与该下接地端之间，以维持该第二间隙。2.根据权利要求I所述的射频电...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金振，吴进益，蔡坤佑，
申请(专利权)人：福州华映视讯有限公司，中华映管股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：