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本实用新型为真空镀膜机射频电极，解决用直流电源做保护膜的速度慢，保护膜耐腐蚀时间短，工件易发黄的问题。真空箱体（1）为阳极，极板（2）为阴极，阳极和阴极与射频电源（3）连接，极板（2）下面有冷却水通过的冷却水槽（3），冷却水封板（4）的下面...
该专利属于爱发科东方真空（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱发科东方真空（成都）有限公司授权不得商用。

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