微米级集成电路用球形硅微粉生产装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术微米级集成电路用球形硅微粉生产装置包括输送系统、混合系统、加热喷射系统、冷却收集系统、除杂系统、干燥系统和检测系统，其中输送系统连接着混合系统，混合系统连接着加热喷射系统，加热喷射系统连接着冷却收集系统，冷却收集系统连接着除杂系统，除杂系统连接着干燥系统，干燥系统连接着检测系统；通过技术方案后，满足细节生产工艺的需要，使得生产的产品的品质可以保障。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是硅微粉的生产领域，具体涉及的是以微米级集成电路用球形硅微粉生产为目的的生产装置。
技术介绍
硅粉(也叫微硅粉)(学名“硅灰”，Silica Fume )，硅粉又叫硅灰。是工业电炉在高温熔炼工业硅及硅铁的过程中，随废气逸出的烟尘经特殊的捕集装置收集处理而成。在逸出的烟尘中，Si02含量约占烟尘总量的90%，颗粒度非常小，平均粒度几乎是纳米级别，故称为硅粉。硅粉的研究始于斯堪的纳维亚国家，尽管20世纪50年代人们对硅粉作用就有所认识和初步的研究，但应用于实际工程中是从70年代开始的，首先是挪威和瑞典等国家在港口码头、北海油田及地下矿井中部分采用了硅粉混凝土，1982年，挪威在伏诺维斯坝上正式采用了硅粉混凝土筑坝，20世纪80年代初加拿大在魁北克建立了硅粉混凝土，并对大体积硅粉混凝土进行试验研究，拌制高标号混凝土 I万立方米，1983年美国用硅粉混凝土修补了奥里夫尼河上的卡查坝消力池，效果良好。世界上其它国家也都加紧研究和应用。
技术实现思路
本技术主要解决的问题是提供一种生产工艺简单，适宜批量规模生产，同时各批产品品质一致的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置。为实现上述目的，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微米级集成电路用球形硅微粉生产装置，其特征在于：所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置包括输送系统、混合系统、加热喷射系统、冷却收集系统、除杂系统、干燥系统和检测系统，其中输送系统连接着混合系统，混合系统连接着加热喷射系统，加热喷射系统连接着冷却收集系统，冷却收集系统连接着除杂系统，除杂系统连接着干燥系统，干燥系统连接着检测系统。

【技术特征摘要】
1.一种微米级集成电路用球形硅微粉生产装置，其特征在于:所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置包括输送系统、混合系统、加热喷射系统、冷却收集系统、除杂系统、干燥系统和检测系统，其中输送系统连接着混合系统，混合系统连接着加热喷射系统，加热喷射系统连接着冷却收集系统，冷却收集系统连接着除杂系统，除杂系统连接着干燥系统，干燥系统连接着检测系统。2.根据权利要求1所述的微米级集成电路用球形硅微粉生产装置，其特征在于:所述的输送系统包括粉体输送设备；混合系统包括气固两相流拉瓦尔喷管；加热喷射系统包括气体燃料高温火焰喷射机；冷却收集系统包括冷冻干燥机和收集器；除杂系统包括气体分流机和超纯水系统；干燥系统包括高速离心喷雾干燥机；检测系统包括马尔文激光粒度测试仪、拜耳光谱全元素分析仪、欧美克颗粒检测仪和原子吸收分光光度计。3.根据权利要求2所述的微米级集成电路用球形硅微...

【专利技术属性】
技术研发人员：何书辉，
申请(专利权)人：江苏中腾石英材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：