液体馈送泵及流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供几乎不产生颗粒的液体馈送泵。本发明专利技术的液体馈送泵包括：泵壳体；隔膜（180），在其与凹部面之间形成泵室（123），划分泵室（123）和孔；往复运动部件，以能够进行往复运动的方式插入孔中，通过往复运动使隔膜（180）变形；驱动部（140），使往复运动部件在往复运动的方向上发生位移；密封部，在凹部面的外周侧包围的位置处，通过夹持隔膜（180）来进行密封；隔膜接收面，设置在密封部与开口部之间，所述隔膜接收面与隔膜（180）抵接的面的面积、即抵接面积根据位移与泵室（123）的内压而发生变化。抵接面积随着往复运动部件向凹部面侧的位移的增加而减小，随着泵室（123）的内压的上升而增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于液体色谱仪等中的液体馈送泵，尤其涉及通过隔膜的变形进行输液的隔膜泵。
技术介绍
提出了用于高效液相色谱法(Highperformance liquid chromatography)的各种液体馈送泵。例如提出了如下的液体馈送泵:柱塞方式(Plunger)(专利文献I);通过压电组件对隔膜进行驱动的压电方式(专利文献2)等。对隔膜进行驱动的压电方式不具有如柱塞方式的滑动部分，因此不产生颗粒，从而具有可以提供寿命长的液体馈送泵的优点。另一方面，柱塞方式具有如下优点，即:通过减小柱塞的顶端部分的面积(相当于泵室的缸体底面的面积)、从而可以实现高压排出，并且根据增加柱塞的冲程可以保证流量。近年来，在高效液相色谱法中，需要在分析过程中对高压下的微小流量进行控制。另一方面，在洗脱液的导入、置换、或者流路清洗等中，在低压下需要较大流量。针对如上所述的需求，采用可以保证高压排出和流量的柱塞方式，并且通过使用对洗脱液的流动进行分流的分路器(分流器)，从而还实现了高压微小流量输液方法和低压大流量输液方法(专利文献3)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本国专利申请公开公报“特开200本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.27 JP 2011-1000111.一种液体馈送泵，包括: 泵壳体，形成有柱状孔、与所述孔的开口部及其周缘部相对的凹部面、在所述凹部面具有吸入口的吸入通路、以及在所述凹部面具有排出口的排出通路； 隔膜，在其与所述凹部面之间形成泵室，并且划分所述泵室和所述孔； 往复运动部件，以能够进行往复运动的方式插入所述孔中，通过所述往复运动推压所述隔膜，从而使其变形； 驱动部，使所述往复运动部件在所述往复运动的方向上以所述往复运动的冲程可变的方式周期性地进行位移； 密封部，在所述凹部面的外周侧包围的位置处，通过夹持所述隔膜来进行密封；以及隔膜接收面，设置在所述密封部与所述开口部之间，所述隔膜接收面与所述隔膜抵接的面的面积、即抵接面积根据所述位移与所述泵室的内压而发生变化，其中， 所述抵接面积根据所述往复运动部件向所述凹部面侧的位移的增加而减小，根据所述泵室的内压的上升而增加。2.根据权利要求1所述的液体馈送泵，其中， 所述密封部通过密封加压面和密封接收面对所述隔膜进行夹持，所述密封加压面是与所述凹部面连续的面，所述密封接收面是与所述隔膜接收面连续的面， 所述密封接收面与所述隔膜接收面光滑地连续。3.根据权利要求2所述的液体馈送泵，其中， 所述密封接收面是环状的平面。4.根据权利要求3所述的液体馈送泵，其中， 所述隔膜接收面形成为环状的平面，并且，所述开口部与所述隔膜接收面形成为同心状。5.根据权利要求2至4中的任意一项所述的液体馈送泵，其中， 所述隔膜接收面与所述密封接收面形成为同一平面。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的液体馈送泵，其中，所述往复运动部件包括: 顶端部，其与所述隔膜之间的抵接面具有为凸状的曲面。7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的液体馈送泵，其中， 所述凹部面在与向排出方向驱动时的隔膜形状嵌合的方向上具有凹状...

【专利技术属性】
技术研发人员：新田慎一，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：
国别省市：