一种闭环压电薄膜泵及流量控制方法技术

技术编号：7476209 阅读：342 留言：0更新日期：2012-07-04 20:16

一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块、进液阀以及出液阀，所述流量传感器和压电泵基体通过MEMS工艺集成为一整体结构，所述流量传感器设有微通道及信号转换模块，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量体积信号比较后控制压电振子的运动变形量。本发明专利技术实施例的闭环压电薄膜泵通过将流量传感器和压电泵基体集成为一整体，减小了泵的体积；并通过流量传感器与电路控制模块的协同工作，实现了流体的流量闭环控制，提高了驱动流体的精度，该闭环压电薄膜泵可加工性好，便于进行一致性批量制造。