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液体馈送泵及流量控制装置制造方法及图纸
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文档序号:8687610
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本发明提供几乎不产生颗粒的液体馈送泵。本发明的液体馈送泵包括:泵壳体;隔膜(180),在其与凹部面之间形成泵室(123),划分泵室(123)和孔;往复运动部件,以能够进行往复运动的方式插入孔中,通过往复运动使隔膜(180)变形;驱动部(14...
该专利属于CKD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过CKD株式会社授权不得商用。
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