磁头悬架的布线结构及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种包括挠曲件的磁头悬架的布线结构。所述挠曲件支撑磁头并附接到给磁头施加负载的负载梁，所述布线结构包括形成在挠曲件上并连接到磁头的写布线和读布线，每个都具有相反极性的导线。该布线结构还包括堆叠交错部件，堆叠交错部件具有电连接到写布线的各个导线的段，该段通过电绝缘层堆叠在导线上并面对它，从而面对的导线和段具有相反的极性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁头悬架的布线结构以及制造该布线结构的方法，该磁头悬架安装在信息处理器的硬盘驱动器中，信息处理器如计算机。
技术介绍
最近硬盘驱动器被要求具有大容量和高传输率且在低功耗下运行。为了满足这些需求，尤其是，为了实现高速数据传输，磁头悬架必须能够处理宽带宽。与之相关的，公开号为H10-124837的日本待审专利申请披露了一种交错式布线结构。图22和23举例说明了应用了交错式布线结构的写布线101。写布线101形成于基底绝缘层上，包括第一极性导线IOlaa和IOlab以及第二极性导线IOlba和lOlbb，它们水平交错并具有相同宽度。第一极性导线IOlaa和IOlab的第一端通过旁路导线IOlc彼此相连，第二极性导线IOlba和IOlbb的第一端通过旁路导线IOld彼此相连。第一极性导线IOlaa和IOlab的第二端通过电桥IOle彼此相连,第二极性导线IOlba和IOlbb的第二端通过电桥IOlf彼此相连。根据现有技术的交错式布线结构使第一和第二极性导线lOlaa，IOlab, IOlba和IOlbb在同一平面上交错，因而极大地加宽了交错式布线结构的整体宽度、限制了设计磁头悬架的自由度。
技术实现思路
本专利技术的一个目标是提供一种磁头悬架的布线结构，能够应用交错式布线配置，同时阻止布线结构的整体宽度的增加，从而提高设计磁头悬架的自由度。为了实现该目标，本专利技术的一个方面提供一种磁头悬架的布线结构，包括挠曲件，其支撑用于写数据到记录介质及从记录介质读数据的磁头并附接到给磁头施加负载的负载梁。该布线结构包括形成在挠曲件上并连接到磁头的写布线和读布线，每个布线都具有相反极性的导线。该布线结构还包括至少为写布线设置的堆叠交错部件，该堆叠交错部件包括在每个段的两端电连接到写布线的各个导线的段。该段通过电绝缘层堆叠在写布线的导线上并面对它，从而相对的导线和段具有相反的极性以至少交错在堆叠交错部件处的写布线。本专利技术的该方面在堆叠交错部件处实现了交错的布线配置，从而阻止了整体布线宽度的增加，保证了设计磁头悬架的自由度。本专利技术的另一方面提供一种制造上述方面的布线结构的方法。该方法包括:形成第一和第二极性导线的布线步骤；在导线上形成电绝缘层并在导线上形成导体的绝缘层形成步骤，这样导体穿过电绝缘层并从电绝缘层的表面露出；以及在电绝缘层上形成堆叠交错部件并将堆叠交错部件电连接到导体的堆叠交错部件形成步骤。本专利技术的这个方面适当地用堆叠交错部件形成了交错的布线结构。附图说明图1是图示采用了根据本专利技术的第一实施例的布线结构的磁头悬架的平面图；图2是沿图1的线I1-1I的截面图，图示了为根据第一实施例的磁头悬架的写布线设置的堆叠交错部件；图3是示意性地图示图2的堆叠交错部件的透视图；图4A至4D是图示制造图2的布线结构的方法的截面图，其中，图4A是布线步骤，图4B是绝缘层形成步骤，图4C是堆叠交错部件形成步骤，图4D是盖绝缘层形成步骤；图5A至是对应于图4A至4D的透视图，仅图示了堆叠交错部件处的布线；图6A至6F是图示图4A至4D的方法的变形的截面图，其中，图6A是布线步骤，图6B是绝缘层形成步骤，图6C至6E是堆叠交错部件形成步骤，图6D中，制作孔为了露出导线，图6F是盖绝缘层形成步骤；图7A至7D是图示图4A至4D的方法的另一变形的截面图，其中，图7A是布线步骤，图7B是绝缘层形成步骤，图7C是堆叠交错部件形成步骤，图7D是盖绝缘层形成步骤；图8A和8B是图示根据第一实施例的布线结构的传输损耗和频率之间的关系的图，其中，图8A是常规图，为具有堆叠交错部件的布线的传输损耗(GMAX)，图SB是图8A的图的局部放大图；图9是图示根据本专利技术的第一实施例的第一变形的磁头悬架的写布线的堆叠交错部件的截面图；图10是图示根据第一变形的导线宽度比和传输损耗下降(DIP)之间的关系的图；图11是图示根据本专利技术的第一实施例的第二变形的磁头悬架的写布线的堆叠交错部件的截面图；图12是图示根据第二变形的导线宽度比和传输损耗下降(DIP)之间的关系的图，其中，区段45BA和43BA以及导线27和29每个间隔15ym；图13是图示根据本专利技术的第一实施例的第三变形的磁头悬架的写布线的堆叠交错部件的截面图；图14是图示根据第三变形的导线宽度比和传输损耗下降之间的关系的图，其中，区段45CA和43CA之间的间隔比导线27和29之间的间隔宽，其外边缘对准；图15A至15C是图示为根据本专利技术的第一实施例的布线结构设置的窗口的出现或不出现的透视图，其中，图15A没有窗口，图15B具有窗口率为50%的窗口，图15C具有窗口率为100%的窗口；图16是图不根据第一实施例的窗口率和传输损耗下降之间的关系的图；图17是图示根据第一实施例的布线宽度比和带宽之间的关系的图，其中布线长度为30_ ；图18是图示根据第一实施例的布线宽度比和阻抗之间的关系的图，其中布线长度为30_ ；图19是图示根据第一实施例的阻抗和带宽之间的关系的图，其中布线长度为30mm ；图20是图示为根据本专利技术的第二实施例的磁头悬架的写布线设置的堆叠交错部件的截面图21A至21D是制造图20的布线结构的方法的截面图，其中，图21A至21C是布线步骤，图21D是堆叠交错部件形成步骤；图22是图示根据现有技术的水平交错式布线结构的透视图；图23是图示图22的现有技术的电路图。具体实施例方式将解释本专利技术的实施例。每个实施例实现磁头悬架的堆叠式和交错式布线结构，同时阻止布线的宽度的增加，从而保证设计磁头悬架的自由度。将参考附图详细解释本专利技术的第一实施例。图1是图示应用了根据本专利技术的第一实施例的布线结构的磁头悬架的平面图。在图1中，磁头悬架I包括负载梁3、基座5和挠曲件7。负载梁3将负载施加到用来写数据到记录介质和从记录介质中读数据的磁头21。负载梁3具有刚性部件9和弹性部件11。刚性部件9用例如薄不锈钢钢板制造，该钢板具有例如大约100微米的厚度。弹性部件11与刚性部件9分离，并用例如弹性薄不锈钢轧制钢板制造。弹性部件11的弹簧常数比刚性部件的低，而且是精确的。弹性部件11的厚度是例如大约40微米。弹性部件11的第一端通过例如激光焊接固定到刚性部件9的后端。弹性部件11的第二端与加强板13形成一体。基座5具有位于并通过例如激光焊接固定于加强板13上的基板15。加强板13加强基板15，从而形成基座5。基座5附接到绕着主轴被驱动的托架的臂。挠曲件7包括用导电薄板制造的基材17，导电薄板比如弹性薄不锈钢轧制钢板(SST)，该钢板具有大约15至30微米的厚度。在基材17上，布线图19穿过基底绝缘层35而形成，该绝缘层下文再解释。布线图19包括写布线19a和读布线19b。每个写布线19a和读布线19b都包括第一极性导线和第二极性导线，它们是相反极性的导线。也就是说，第一极性是正极性和负极性中的一个，而第二极性是其中的另一个。写布线19a和读布线19b中的导线有时被称为“轨迹”。根据第一实施例，写布线19a设置为具有堆叠交错部件31。挠曲件7通过例如激光焊接固定在负载梁3的刚性部件9上。布线图19的第一端电连接到磁头21，布线图19的第二端延伸到基座5的外部。也就是说，写和读布线19a和19b形成在挠曲件7上并连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括挠曲件的磁头悬架的布线结构，所述挠曲件支撑用于写数据到记录介质和从记录介质读数据的磁头并附接到给磁头施加负载的负载梁，所述布线结构包括：形成在挠曲件上并连接到磁头的写布线和读布线，每个都具有相反极性的导线；和至少为写布线设置的堆叠交错部件，该堆叠交错部件包括在每个段的两端处电连接到写布线的各个导线的段，该段通过电绝缘层堆叠在写布线的导线上并面对它，从而面对的导线和段具有相反的极性以在堆叠交错部件处至少交错写布线。

【技术特征摘要】
2011.11.02 JP 2011-2416931.一种包括挠曲件的磁头悬架的布线结构，所述挠曲件支撑用于写数据到记录介质和从记录介质读数据的磁头并附接到给磁头施加负载的负载梁，所述布线结构包括: 形成在挠曲件上并连接到磁头的写布线和读布线，每个都具有相反极性的导线；和 至少为写布线设置的堆叠交错部件，该堆叠交错部件包括在每个段的两端处电连接到写布线的各个导线的段，该段通过电绝缘层堆叠在写布线的导线上并面对它，从而面对的导线和段具有相反的极性以在堆叠交错部件处至少交错写布线。2.根据权利要求1所述的布线结构，其中，挠曲件包括导电薄基材、形成在基材上的基底绝缘层和形成在基底绝缘层上的写布线和读布线，电绝缘层是形成在基底绝缘层上的中间绝缘层。3.根据权利要求2所述的布线结构，其中，基材具有在与堆叠交错部件相对应的位置处的窗口，窗口的开口率是相对于堆叠交错部件设置的。4.根据权利要求1所述的布线结构 ，其中，写布线的导线通过挠曲件的导电薄基材的一部分形成，堆叠交错部件的段形成在基底绝缘层上，基底绝缘层形成于导电薄基材上并用作电绝缘层。5.根据权利要求1所述的布线结构，其中，堆叠交错部件的每个段通过穿过电绝缘层的导体电连接到写布线的相对应导线。6.根据权利要求5所述的布线结构，其中: 堆叠交错部件的每个段包括面对段和设置在面对段的各个端部的第一及第二交叉段，面对段堆叠在相反极性的导线上并面对它，交叉段连接到相同极性的导线； 所述段中的一个的第一和第二交叉段分别交叉所述段中的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒井肇，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：