感光性树脂层压体制造技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂层压体，其不存在支撑膜的剥离性问题，层压时的随动性良好，显影后的固化抗蚀图案良好且无侧壁的晃动或表面的凹陷，显影后的折边极小。该感光性树脂层压体的特征在于，其为在支撑膜上依次层压：层厚为10μm以上且100μm以下的第一层、层厚为0.1μm以上且10μm以下的第二层、和感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该第二层混合含有聚乙烯醇和选自特定的化合物的组中的1种以上化合物而成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性树脂层压体及其用途，更详细而言，涉及在印刷线路板、挠性基板、引线框基板、COF (chip on film，覆晶薄膜)用基板、半导体封装用基板、液晶用透明电极、液晶用TFT用配线、PDP (plasma display panel,等离子体显示面板)用电极等的导体图案的制造中适用的感光性树脂层压体、及使用其的抗蚀图案的形成方法。
技术介绍
在电脑、手机等电子设备中，使用印刷线路板作为用于安装部件、半导体的基板。作为用于制造印刷线路板的抗蚀剂，一直以来使用所谓的抗蚀干膜(以下简称为DF)，即在支撑膜上层压感光性树脂层，进而在该感光性树脂层上层压保护层而成的感光性树脂层压体。作为这里所使用的感光性树脂层，目前作为显影液通常为使用弱碱性水溶液的碱显影型感光性树脂层。使用DF制作印刷线路板等时，在有保护层的情况下，首先，剥离保护层，然后使用层压机等在覆铜层压板、挠性基板等的永久电路制作用基板上层压DF，隔着配线图案掩模薄膜(mask film)等进行曝光。接着，根据需要剥离支撑膜，通过显影液溶解或分散除去未曝光部分的感光性树脂层，并在基板上形成固化抗蚀图案。形成抗蚀图案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂层压体，其特征在于，其为在支撑膜上依次层压：层厚为10μm以上且100μm以下的第一层、层厚为0.1μm以上且10μm以下的第二层、感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该第一层含有热塑性树脂，而且该第二层含有聚乙烯醇：75~99质量%、和选自由下述通式（I）所示的化合物及下述通式（II）所示的化合物组成的组中的至少1种化合物：1~25质量%而成；R1?O?（CH2CH2O）n1?R2??（I）式中，R1和R2为H或CH3，它们可以相同也可以不同，而且n1为3~25的整数；式中，R3为H或碳原子数1~6的烷基，而且n2为9~10000的整数，所述感光性树脂层为由含有：（a）以酸当量...

【技术特征摘要】
2008.01.29 JP 2008-0177811.一种感光性树脂层压体，其特征在于，其为在支撑膜上依次层压:层厚为10 μ m以上且100 μ m以下的第一层、层厚为0.1 μ m以上且10 μ m以下的第二层、感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该第一层含有热塑性树脂，而且该第二层含有聚乙烯醇:75 99质量％、和选自由下述通式(I)所示的化合物及下述通式(II)所示的化合物组成的组中的至少I种化合物:Γ25质量％而成；R1-O- (CH2CH2O) n「R2 (I) 式中，R1和R2为H或CH3,它们可以相同也可以不同，而且Ii1为3 25的整...

【专利技术属性】
技术研发人员：五十岚勉，
申请(专利权)人：旭化成电子材料株式会社，
类型：发明
国别省市：