悬空式铌酸锂光波导制造技术

本发明专利技术涉及一种悬空式铌酸锂光波导，选取铌酸锂样品作为基材按以下面步骤操作，首先，使用能量为1兆电子伏(MeV)的氦离子(He+)束轰击铌酸锂样品，在样品表面下方一定区域内形成晶格损伤，形成晶格损伤的部分具有小于没有损伤的部分的折射率，将光束限制在波导区域中传播。第二步使用聚焦离子束刻蚀的方法在样品表面刻蚀出圆形或矩形的孔洞，混合的酸溶液可以通过这些孔洞接触到具有晶格损伤的部分并进一步把这些部分腐蚀掉，从而形成空气隔层，悬空的波导结构便在铌酸锂样品的表面形成了。本发明专利技术铌酸锂光波导对在其中传播的光信号有非常好的限制作用，具有极低的传输损耗，可以被广泛应用于电子、光学、和调制类器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种光波导材料，具体的是一种具有悬空式结构的铌酸锂光波导材料。
技术介绍
铌酸锂(LiNbO3)晶体是目前用途最广泛的新型无机材料之一，它是很好的压电换能材料，铁电材料，电光材料，非线性光学材料及表面波基质材料。铌酸锂作为具有电光效应的材料在光通讯中起到光调制作用并被广泛使用。所谓电光效应是指对晶体施加电场时，晶体的折射率发生变化的效应。有些晶体内部由于自发极化存在着固有电偶极矩，当对这种晶体施加电场时，外电场使晶体中的固有偶极矩的取向倾向于一致或某种优势取向，因此，必然改变晶体的折射率，即外电场使晶体的光率体发生变化。在光通讯中，电一一光调制器就是利用电场使晶体的折射率改变这一原理制成的。电光晶体位于起偏镜和检偏镜之间，在未施加电场时，起偏镜和检偏镜相互垂直，自然光通过起偏镜后检偏镜挡住而不能通过。施加电场时，光率体变化，光便能通过检偏镜。通过检偏镜的光的强弱由施加于晶体上的电压的大小来控制，从而实现通过控制电压对光的强弱进行调制的目的。铌酸锂晶体作为一种非线性光学材料，应用范围很广，被称为是一种万能光电子材料，以其优良的非线性光学效应、电光效应、压电效应和光折变效本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬空式铌酸锂光波导，其特征在于：选取铌酸锂样品作为基材按以下面步骤操作，首先，使用能量为1兆电子伏(MeV)的氦离子(He+)束轰击铌酸锂样品，在样品表面下方一定区域内形成晶格损伤，形成晶格损伤的部分具有小于没有损伤的部分的折射率，因此可以形成折射率差异，进而构成波导，将光束限制在波导区域中传播。但是，同传统的质子交换和钛扩散法类似，由氦离子轰击产生的晶格损伤所带来的折射率对比度差异较小，尤其是在垂直方向上，光在传输过程中很容易漏向基底方向并消散形成损耗。第二步使用聚焦离子束刻蚀的方法在样品表面刻蚀出圆形或矩形的孔洞，以便使得在随后第三步的湿法刻蚀中，混合的酸溶液可以通过这些孔洞接触到具有...

【技术特征摘要】
1.一种悬空式铌酸锂光波导，其特征在于:选取铌酸锂样品作为基材按以下面步骤操作，首先，使用能量为I兆电子伏(MeV)的氦离子(He+)束轰击铌酸锂样品，在样品表面下方一定区域内形成晶格损伤，形成晶格损伤的部分具有小于没有损伤的部分的折射率，因此可以形成折射率差异，进而构成波导，将光束限制在波导区域中传播。但是，同传统的质子交换和钛扩散法类似，由氦离子轰击产生的晶格损伤所带来的折射率对比度差异较小，尤其是在垂直方向上，光在传输过程中很容易漏向基底方向并消散形成损耗。第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜潇潇，司光远，吕江涛，谷琼婵，马振鹤，王凤文，
申请(专利权)人：东北大学秦皇岛分校，
类型：发明
国别省市：