光导波元件制造技术

提供一种对于使用具有电光效应、厚度为10μm以下的薄板的光导波元件，将在该元件的端面反射的片状传播光除去，从而抑制动作特性的劣化的光导波元件。一种光导波元件，其具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光导波元件的特征在于，在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光导波元件，尤其是涉及使用具有电光效应且厚度为 ομπι以下的薄板的光导波元件。
技术介绍
在光计测
或光通信
中，多使用光调制器等光导波元件，其中该光调制器使用了具有电光效应的基板。而且，为了实现频率响应特性的宽带化或驱动电压的减少，将基板的厚度减薄至 ο μ m左右，降低调制信号即微波的实效折射率，实现微波与光波的速度匹配，进而实现电场效率的提高。如专利文献I所示，这种薄板以机械强度的确保为目的，而与其他的加强基板粘接而使用。在薄的主基板(也称为“薄板”)中，在基板内传播的信号光的行为成为问题。尤其是从薄板内的光导波例如S字部、分支 结合部泄漏的杂散光与主基板具有100 μ m以上的厚度的情况不同，将薄板作为片状导波路进行传播。并且，由光导波元件的端面反射的片状传播光以浅的角度与光导波交叉时，产生光结合，因结合状态而产生光导波元件的波长依赖性。而且，由于在对传播损失或对消光比进行监控的监控用受光元件的相位差中产生波长依赖性，因此光导波元件的动作特性会发生劣化。损失或消光比等的规格被规定在使用波长域内，因此需要在整个使用波长域内测定该特性。其结果是，测定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光导波元件，其具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光导波元件的特征在于，在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射膜。

【技术特征摘要】
2011.09.30 JP 2011-2185581.一种光导波元件，其具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为ΙΟμπι以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光导波元件的特征在于， 在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹村基弘，藤野哲也，神力孝，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：