本发明专利技术提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括：基部(10)；可动部(13)，其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件(40)，其以跨接基部(10)与可动部(13)的方式而被固定；质量部(50、52)，其被固定在可动部(13)上，可动部(13)包括：第一固定部(14)，其上固定有物理量检测元件(40)；第二固定部(16a、16b)，其上固定有质量部(50、52)；切口部(20a、20b)，其与连接部(12)分离，且具有从可动部(13)的侧面(13e)起到达至与连结第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的线段(L1、L2)交叉的部位处的切口形状。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备。
技术介绍
一直以来，已知一种利用了振子等的物理量检测元件的物理量检测装置(例如，力口速度传感器)。这种物理量检测装置被构成为，当物理量检测元件的共振频率由于力向检测轴方向作用而发生了变化时，根据该共振频率的变化而对被施加到物理量检测装置上的力(加速度)进行检测。在这种物理量检测装置中，例如通过在被施加了加速度时会发生位移的可动部上设置质量部，从而提高加速度的检测灵敏度(参照专利文献I)。但是，在专利文献I所公开的技术中，由于可动部和质量部的热膨胀系数有所不同，因此有时会因两者的热膨胀系数之差而在可动部上产生应力。而且，这种应力有时会被传递至物理量检测元件。其结果为，存在物理量检测元件的共振频率由于传递过来的应力而发生变动，从而导致物理量检测装置的检测灵敏度降低的情况。专利文献1:日本特开2011-169671号公报
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况的物理量检测装置。此外，本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述物理量检测装置的物理量检测器及电子设备。应用例I为了解决上述课题，本专利技术所涉及的物理量检测装置包括:基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；切口部，其与所述连接部分离，且具有从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过切口部来抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。其结果为，这种物理量检测装置能够具有较高的检测灵敏度。应用例2在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。根据这种物理量检测装置，例如与切口部是有底的情况相比，能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。应用例3在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部是有底的。根据这种物理量检测装置，与切口部从可动部的一个主面贯穿至另一个主面的情况相比，能够提高可动部的刚性。因此，在向物理量检测装置施加了加速度时，可动部能够在不发生扭曲的条件下，进一步稳定地进行动作。应用例4在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。根据这种物理量检测装置，能够通过切口部来抑制物理量检测元件的灵敏度降低的情况。应用例5在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构，通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部，在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差，所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。根据这种物理量检测装置，由于第二脚部的刚性在第一脚部侧的相反侧较高，因此尤其是在将第二固定部沿着可动部的旋转轴方向(沿着X轴)而设置在第二脚部中的与第一脚部相反的一侧时，能够提高可动部在第二固定部附近的刚性。因此，能够抑制在可动部上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。应用例6在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含开口部。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过开口部来更进一步抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够更进一步抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。应用例7在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二脚部具有:第一梁部，其被设置在所述开口部与所述切口部之间；第二梁部，其被设置在所述开口部、与所述可动部中的沿着与所述旋转轴方向交叉的方向的侧面之间，所述第一梁部的刚性低于所述第二梁部的刚性。根据这种物理量检测装置，能够抑制在可动部上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。应用例8本专利技术所涉及的物理量检测装置包括:基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；孔部，其与所述连接部分离，且与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过孔部来抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。其结果为，这种物理量检测装置能够具有较高的检测灵敏度。应用例9在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而设置。根据这种物理量检测装置，与例如孔部是有底的情况相比，能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。应用例10在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述孔部是有底的。根据这种物理量检测装置，与孔部从可动部的一个主面贯穿至另一个主面的情况相比，能够提高可动部的刚性。因此，在向物理量检测装置施加了加速度时，可动部能够在不发生扭曲的条件下，进一步稳定地进行动作。应用例11在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。根据这种物理量检测装置，能够通过孔部来抑制物理量检测元件的灵敏度降低的情况。应用例12在本专利技术所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，S卩，所述可动部具有多个开口部，所述第二固定部被所述孔部及多个所述开口部所包围，所述可动部具有通过所述孔部及多个所述开口部而被规定了形状的支承部，所述第二固定部被所述支承部所支承。根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上(在第二固定部上)产生了应力，也能够通过多个开口部来更进一步抑制该应力被传递至第一固定部的情况。应用例13本专利技术所涉及的物理量检测器包括:本专利技术所涉及的物理量检测装置；封装件，其对所述物理量检测装置进行收纳。由于这种物理量检测器包括本专利技术所涉及的物理量检测装置，因此能够具有较高的检测灵敏度。应用例14本专利技术所涉及的电子设备包括本专利技术所涉及的物理量检测装置。由于这种电子设备包括本专利技术所涉及的物理量检测装置，因此能够具有较高的检测灵敏度。附图说明图1为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测装置的立体图。图2为概要地表示第一实施方式所涉及的物理量检测本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种物理量检测装置，包括：基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括：第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；切口部，其与所述连接部分离，且具有如下的切口形状，即，从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。
【技术特征摘要】
2011.11.07 JP 2011-243470;2011.11.14 JP 2011-24861.一种物理量检测装置，包括: 基部; 可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移； 物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定； 质量部，其被固定在所述可动部上， 所述可动部包括: 第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件； 第二固定部，其上固定有所述质量部； 切口部，其与所述连接部分离，且具有如下的切口形状，即，从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。2.按权利要求1所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。3.按权利要求1所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部是有底的。4.按权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部被设置于，在 俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。5.按权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其中， 所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构， 通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部， 在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差， 所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。6.按权利要求5所述的物理量检测装置，其中， 所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡边润，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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