下载物理量检测装置、物理量检测器及电子设备的技术资料

文档序号:8681389

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本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备,其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括:基部(10);可动部(13),其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检...
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