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物理量检测装置、物理量检测器及电子设备制造方法及图纸
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文档序号:8681389
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本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备,其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括:基部(10);可动部(13),其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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