无滑动式闸阀制造技术

本发明专利技术提供一种无滑动式闸阀，在气缸的驱动杆和阀轴之间夹设有由导向槽及导向辊构成的平行移动机构、和由凸轮槽及凸轮辊构成的垂直移动机构，通过由所述平行移动机构使所述阀轴与阀座面平行地移动之后，由所述垂直移动机构使其相对于所述阀座面垂直地移动，由此，使阀板的阀密封件相对于所述阀座面垂直地接近分离地开闭所述开口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种闸阀，其安装在半导体处理装置中的真空腔上，在与该真空腔连通的开口的开闭中使用，更详细地说涉及能够无滑动地开闭所述开口的无滑动式闸阀。
技术介绍
在半导体处理装置中，在与真空腔连通的开口的开闭中使用闸阀。该闸阀一般具有开闭开口的阀板、与该阀板连结的阀轴、和与该阀轴连结的气缸，由该气缸操作所述阀轴，由此，使所述阀板的阀密封件相对于所述开口周围的阀座面接近分离地开闭该开口。所述闸阀有如下方式:通过以一点为支点使所述阀轴倾动来开闭操作阀板的方式；通过使所述阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式。其中，在使阀轴倾斜来开闭操作阀板的方式的闸阀中，所述阀密封件与阀座面接触之后，当为了获得规定的推压力，继续使阀轴倾动时，阀板相对于阀座面在沿着该座面的方向上位移，从而存在如下的可能性:在所述阀密封件和阀座面之间发生摩擦，或者阀密封件在安装槽内转动，产生磨损粉末，成为阀的清洁化的损害。与之相对，使阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式的闸阀，由于在阀密封件和阀座面之间不发生摩擦，从而不用担心产生磨损粉末。在下述的专利文献I中公开了在阀密封件和阀座面之间不发生摩擦的无滑动的闸阀。该闸阀是在气缸的驱动杆(推进轴)和阀轴(阀棒)之间夹设多个连杆、凸轮随动件和导向槽，使阀板从开放位置到与开口相对的位置相对于该开口周围的阀座面平行地移动之后，再相对于该阀座面垂直地移动，由此关闭所述开口。专利文献1:日本特开平11 - 351419号公报但是，在所述专利文献I公开的闸阀中，组合多个连杆、凸轮随动件和导向槽而构成用于使所述阀板相对于阀座面垂直地移动的机构，从而存在零件个数变多、构造复杂、操作也复杂的难点。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种无滑动式闸阀，仅将使用了凸轮的简单的机构夹设在气缸的驱动杆和阀轴之间，就能够使所述阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭开口。为实现所述目的，根据本专利技术提供一种闸阀，具有:被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结于该阀轴的气缸，通过由该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置。该闸阀具有:能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构，所述连结机构具有:被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上的杠杆部件；被夹设在该杠杆部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有:以分别与所述杠杆部件的左侧面和右侧面面对的方式被固定在所述杆臂上的左右一对凸轮框架；与所述阀座面平行地形成在各凸轮框架上的导向槽；被安装在左右一对辊框架上并嵌合于所述导向槽的导向辊，所述左右一对辊框架固定于安装有所述阀箱的阀盖上，所述垂直移动机构具有:凸轮槽，以相对于所述阀座面倾斜的朝向形成在所述一对凸轮框架的每一个上；凸轮辊，分别被安装在所述杠杆部件的左侧面和右侧面上并嵌合于所述凸轮槽。在本专利技术中，优选的是，在所述一对凸轮框架的每一个上形成有一个所述导向槽和两个所述凸轮槽，在所述杠杆部件的左侧面和右侧面分别安装有两个所述凸轮辊。在该情况下，优选的是，所述导向槽与所述阀轴的轴线平行地形成，所述两个凸轮槽和嵌合于该凸轮槽的所述两个凸轮辊沿所述阀轴的轴线方向被配置成两级。在本专利技术中，也可以在所述凸轮框架的宽度方向的一个半侧形成有所述导向槽，在所述凸轮框架的宽度方向的另一个半侧形成有所述凸轮槽，或者，也可以在所述凸轮框架的与所述辊框架面对的外表面上形成有所述导向槽，在所述凸轮框架的与所述杠杆部件面对的内表面上形成有所述凸轮槽。在本专利技术中，优选的是，所述导向槽是一端开放的槽，在所述左右的辊框架的每一个上安装有多个所述导向辊，在所述阀板的全开位置，至少一个导向辊嵌合于所述导向槽，在所述阀板的相对位置及关闭位置，全部的导向辊嵌合于所述导向槽。在本专利技术的一个实施方式中，被配置成两级的所述凸轮槽是接近所述阀板的第一凸轮槽和远离所述阀板的第二凸轮槽，所述第一凸轮槽和第二凸轮槽相对于所述阀轴的轴线的倾斜角度相互相等。在本专利技术的其他实施方式中，被配置成两级的所述凸轮槽是接近所述阀板的第一凸轮槽和远离所述阀板的第二凸轮槽，该第二凸轮槽具有相对于所述阀轴的轴线的倾斜角度相互不同的第一槽部分及第二槽部分，该第二槽部分位于比所述第一槽部分更远离阀板的位置，该第二槽部分的倾斜角度比所述第一凸轮槽相对于阀轴的轴线的倾斜角度大。另外，在本专利技术中，所述气缸也可以以固定在所述阀盖上的状态分别在所述阀轴的左侧和右侧各设置一个，在从两个气缸延伸出的两个所述驱动杆上安装有所述杆臂，气缸壳体兼用作所述辊框架。本专利技术的闸阀是使阀板相对于阀座面垂直地移动而使阀密封件相对于该阀座面接近分离的方式，从而不会存在在该阀密封件和阀座面之间发生摩擦，或者阀密封件在安装槽内转动的情况，能够可靠地防止磨损粉末的产生。而且，通过将使用了凸轮的简单的机构夹设在驱动杆和阀轴之间，仅通过气缸的直进动作来实现所述阀板的开闭动作，从而操作机构的构造简单，并且零件个数也少即可实现，密封力也大。附图说明图1是表示本专利技术的闸阀的第一实施方式的沿图2的I 一 I线的剖视图，左半部分表示阀板处于开阀位置的状态，右半部分表示阀板处于相对位置的状态。图2是沿图1的II — II线的剖视图。图3是分解地表示图1的关键部位的立体图。图4是图1的左半部分侧的纵剖视图。图5是图1的右半部分侧的纵剖视图。图6是表示阀板处于关闭位置的状态的与图1的右半部分同样的剖视图。图7是图6的纵剖视图。图8是表示阀板处于关闭位置时的停止辊和抵接部的位置关系的关键部位的侧视图。图9是表示本专利技术的闸阀的第二实施方式的与图1同样的剖视图，左半部分表示阀板处于开阀位置的状态，右半部分表示阀板处于相对位置的状态。图10是在图9中阀板移动到关闭位置的状态的纵剖视图。图11是表示本专利技术的闸阀的第三实施方式的沿图12的X1- XI线的剖视图，左半部分表示阀板处于开阀位置的状态，右半部分表示阀板处于相对位置的状态。图12是沿图11的XI1- XII线的剖视图。图13是图11的左半部分侧的纵剖视图。图14是图11的右半部分侧的纵剖视图。图15是表示阀板处于关闭位置的状态的与图11的右半部分同样的剖视图。图16是图15的纵剖视图。图17是简化地表示本专利技术的闸阀的第四实施方式的关键部位的侧视图，表示阀板处于相对位置的状态。图18是表示阀板从图17的位置移动到关闭位置的状态的侧视图。图19是为与图18进行对比，表示在第一 第三实施方式的闸阀中阀板处于相对位置的状态的侧视图。附图标记的说明1A、1B、1C、1D 闸阀2 阀箱3 开口5 阀板6 阀密封件7 阀轴8 气缸9 驱动杆10 阀座面12 杠杆部件24 杆臂25 压缩弹簧28 凸轮框架29 导向槽30a、30b 凸轮槽30c第一槽部分30d第二槽部分3 la、3 Ib 导向辊32辊框架33a、33b 凸轮辊LI阀轴的轴线Θ、Θ1、Θ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无滑动式闸阀，具有：被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结在该阀轴上的气缸，通过该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口成非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置，其特征在于，所述闸阀具有：能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构，所述连结机构具有：被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上的杠杆部件；被夹设在该杠杆部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别与所述杠杆部件的左侧面和右侧面面对的方式被固定在所述杆臂上的左右一对凸轮框架；与所述阀座面平行地形成在各凸轮框架上的导向槽；被安装在左右一对辊框架上并嵌合于所述导向槽的导向辊，所述左右一对辊框架固定于安装有所述阀箱的阀盖上，所述垂直移动机构具有：凸轮槽，以相对于所述阀座面倾斜的朝向形成在所述一对凸轮框架的每一个上；凸轮辊，分别被安装在所述杠杆部件的左侧面和右侧面上并嵌合于所述凸轮槽。...

【技术特征摘要】
2011.11.04 JP 2011-2427951.一种无滑动式闸阀，具有:被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结在该阀轴上的气缸， 通过该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口成非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置，其特征在于， 所述闸阀具有:能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构， 所述连结机构具有:被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上的杠杆部件；被夹设在该杠杆部件和所述杆臂之间的压缩弹簧， 所述平行移动机构具有:以分别与所述杠杆部件的左侧面和右侧面面对的方式被固定在所述杆臂上的左右一对凸轮框架；与所述阀座面平行地形成在各凸轮框架上的导向槽；被安装在左右一对棍框架上并嵌合于所述导向槽的导向棍，所述左右一对棍框架固定于安装有所述阀箱的阀盖上， 所述垂直移动机构具有:凸轮槽，以相对于所述阀座面倾斜的朝向形成在所述一对凸轮框架的每一个上；凸轮辊，分别被安装在所述杠杆部件的左侧面和右侧面上并嵌合于所述凸轮槽。2.按权利要求1所述的闸阀，其特征在于，在所述一对凸轮框架的每一个上形成有一个所述导向槽和两个所述凸轮槽，在所述杠杆部件的左侧面和右侧面分别安装有两个所述凸轮棍。3.按权利要求2所述的闸阀，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：石垣恒雄，下田洋己，小川浩司，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：