无滑动式闸阀制造技术

本发明专利技术提供一种无滑动式闸阀，在气缸的驱动杆和阀轴之间夹设有由导向槽及导向辊构成的平行移动机构、和由凸轮槽及凸轮辊构成的垂直移动机构，通过由所述平行移动机构使所述阀轴与阀座面平行地移动之后，由所述垂直移动机构使其相对于所述阀座面垂直地移动，由此，使阀板的阀密封件相对于所述阀座面垂直地接近分离地开闭所述开口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种闸阀，其安装在半导体处理装置中的真空腔上，在与该真空腔连通的开口的开闭中使用，更详细地说涉及能够无滑动地开闭所述开口的无滑动式闸阀。
技术介绍
在半导体处理装置中，在与真空腔连通的开口的开闭中使用闸阀。该闸阀一般具有开闭开口的阀板、与该阀板连结的阀轴、和与该阀轴连结的气缸，由该气缸操作所述阀轴，由此，使所述阀板的阀密封件相对于所述开口周围的阀座面接近分离地开闭该开口。所述闸阀有如下方式:通过以一点为支点使所述阀轴倾动来开闭操作阀板的方式；通过使所述阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式。其中，在使阀轴倾斜来开闭操作阀板的方式的闸阀中，所述阀密封件与阀座面接触之后，当为了获得规定的推压力，继续使阀轴倾动时，阀板相对于阀座面在沿着该座面的方向上位移，从而存在如下的可能性:在所述阀密封件和阀座面之间发生摩擦，或者阀密封件在安装槽内转动，产生磨损粉末，成为阀的清洁化的损害。与之相对，使阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式的闸阀，由于在阀密封件和阀座面之间不发生摩擦，从而不用担心产生磨损粉末。在下述的专利文献I中公开了在阀密封件和阀座面之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无滑动式闸阀，具有：被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结在该阀轴上的气缸，通过该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口成非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置，其特征在于，所述闸阀具有：能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构，所述连结机构具有：被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上...

【技术特征摘要】
2011.11.04 JP 2011-2427951.一种无滑动式闸阀，具有:被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结在该阀轴上的气缸， 通过该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口成非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置，其特征在于， 所述闸阀具有:能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构， 所述连结机构具有:被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上的杠杆部件；被夹设在该杠杆部件和所述杆臂之间的压缩弹簧， 所述平行移动机构具有:以分别与所述杠杆部件的左侧面和右侧面面对的方式被固定在所述杆臂上的左右一对凸轮框架；与所述阀座面平行地形成在各凸轮框架上的导向槽；被安装在左右一对棍框架上并嵌合于所述导向槽的导向棍，所述左右一对棍框架固定于安装有所述阀箱的阀盖上， 所述垂直移动机构具有:凸轮槽，以相对于所述阀座面倾斜的朝向形成在所述一对凸轮框架的每一个上；凸轮辊，分别被安装在所述杠杆部件的左侧面和右侧面上并嵌合于所述凸轮槽。2.按权利要求1所述的闸阀，其特征在于，在所述一对凸轮框架的每一个上形成有一个所述导向槽和两个所述凸轮槽，在所述杠杆部件的左侧面和右侧面分别安装有两个所述凸轮棍。3.按权利要求2所述的闸阀，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：石垣恒雄，下田洋己，小川浩司，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：