包括透明导电层的装置，包括光电设备的装置和用于制造透明电极的方法制造方法及图纸

一种装置，包括：透明衬底（101），在衬底（101）上的至少一个透明导电层（110）。用于将辐射能转换为电能的至少一个光电设备（120）能够设置在至少一个透明导电层（110）上。至少一个透明导电层（110）具有至少一个第一透明导电层（111）和至少一个第二透明导电层（112）。通过在将第二层（112）沉积到第一层（111）上期间通过第一层（111）影响第二层（112）的结构而能够改进透明的导电层（110）的刻蚀特性。例如由此能够改进第二层（112）的通过刻蚀纹理化的表面的粗糙度的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种具有透明导电层的装置，一种具有至少一个光电设备和至少一个透明导电层的装置以及一种用于制造透明电极的方法。也称作太阳能电池的光电设备可以将太阳辐射的至少一部分地转换为电能。光电设备具有一个或多个Pn结。在P层和η层之间设置有i层。P层是正掺杂的层，η层是负掺杂的层并且i层基本上是本征半导体层。P层和η层主要用于在光电装置中产生漂移场。通过光电效应，包含在光中的辐射能转换为电能。光电装置或太阳能电池可以互连成光伏模块，在所述光伏模块中串联连接有多个光电装置。光电装置例如包括微晶硅层、非结晶硅层、多晶硅层或其他半导体。透明导电层(例如TCO-transparent conductive oxide (透明导电氧化物))沉积到p层和η层上,用于电接触半导体层的前侧。通过所述接触层的结构化和粗化的表面，可以将入射的阳光在所述层中散射，并且由此将大部分辐射能转换为电能。所述表面结构化部例如能够通过刻蚀步骤来制造。所希望的是，提出用于制造透明电极的一种装置以及一种系统，以便实现在刻蚀特性方面改进的电极。该目的通过具有权利要求1的特征的装置、具有权利要求6的特征的装置以及具有权利要求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.10.30 DE 102009051345.01.装置，包括: -透明的衬底(101)， -在所述衬底(101)上的至少一个透明导电层(110)，其中所述至少一个透明导电层(110)具有: -至少一个第一透明导电层(111)， -至少一个第二透明导电层(112)。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个第一透明导电层(111)和所述至少一个第二透明导电层(112)分别具有至少一个特性，其中所述至少一个第二透明导电层(112)的所述至少一个特性与所述第一透明导电层(111)的所述至少一个特性相关。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述至少一个特性相应地包括相应的所述层(111 ；112)的结晶性、取向、中止中的至少一个。4.根据权利要求1至3之一所述的装置，其中所述至少一个第一透明导电层(111)具有在30纳米±10%与400纳米±10%之间的厚度(113)。5.根据权利要求1至4之一所述的装置，其中所述至少一个第二透明导电层(112)具有大于200纳米的厚度(114)。6.装置,包括: -根据权利要求1至5之一所述的装置， -用于将辐...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克·佐伊伯利希，贝恩德·斯坦诺斯基，托比亚斯·文德尔穆特，福尔克尔·西特英格，贝恩德·希什卡，
申请(专利权)人：旭格门窗有限公司，弗兰霍菲尔运输应用研究公司，
类型：
国别省市：