层叠体和层叠体的制造方法技术

提供耐候性、阻气性优异，层间的密合性及其耐久性也优异的层叠体及其制造方法。一种层叠体，其特征在于，是在含有氟树脂的基材板的至少一个面上直接层叠阻气层而得的层叠体，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分，上述阻气层的层叠面中，上述基材板的采用X射线光电子能谱法测定的C1s图谱中，在结合能289～291eV的范围内具有的最大峰的位置在290.1～290.6eV的范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可作为太阳能电池模块用保护板的层叠体及该层叠体的制造方法。
技术介绍
近年，出于地球环境保护的观点，期待安全性更高的清洁能源。将来期待的清洁能源中，特别是太阳能电池，由于它的清洁性、安全性和易操作性，受到越来越高的期待。太阳能电池中将太阳光转换成电能的心脏部为电池(々 >)，作为该电池广泛使用由单晶硅、多晶硅或非晶硅类的半导体构成的电池。该电池通常多个串联或并联配线，此夕卜，为了能够长时间地维持其功能，用各种材料进行保护，用作为太阳能电池模块。太阳能电池模块通常是这样的结构用强化玻璃覆盖电池的面朝太阳光侧的那面，用背板(back sheet)密封背面，在电池和强化玻璃之间的间隙、电池和背板之间的间隙内分别填充由热塑性树脂(尤其是乙烯-醋酸乙烯酯聚合物(以下称为EVA))构成的填充剂。太阳能电池模块要求20 30年左右的产品质量保证。由于太阳能电池模块主要在室外使用，因此要求其构成材料具有耐候性。此外，强化玻璃和背板承担着防止由模块内部的水分引起的劣化的作用，也要求阻挡水蒸汽等的阻气性。强化玻璃虽然透明性、耐候性、阻气性优异，但是，塑性、耐冲击性、操作性等低。因此，人们研究了使用树脂板，尤其是耐候性优异的氟树脂板代替强化玻璃。但是，树脂板与强化玻璃相比存在着阻气性低的问题。针对上述问题，为了提高阻气性，有人提出设置无机蒸镀膜。例如，专利文献I中提出了层叠氟树脂板和具有无机氧化物的蒸镀薄膜的树脂板而成的保护板。此外，专利文献2中提出了在氟树脂板的一个面上设置无机氧化物的蒸镀薄膜，进而，为了提高耐候性，设置了防污层和/或紫外线吸收剂层的保护板。由于能形成致密且阻气性高的膜，以往，为了形成上述的无机蒸镀膜，广泛使用溅射法、等离子体化学蒸镀(CVD)法等的利用等离子体的方法。但是，上述无机蒸镀膜与氟树脂板，特别是含有乙烯-四氟乙烯类共聚物作为氟树脂的板的密合性差，以与该无机蒸镀膜相接的方式设置了填充剂层来构成太阳能电池模块时，存在无机蒸镀膜从氟树脂板剥离的问题。如果由于该剥离而在该无机蒸镀膜和填充剂层之间产生间隙，则由于水分进入等引起太阳能电池模块的耐久性下降。为了提高氟树脂板和无机蒸镀膜的密合性，进行对氟树脂板表面实施电晕放电处理等的表面处理。但是，实施该表面处理时，虽然初期密合性有一定程度的提高，但难以长期维持其密合性。另一方面，近年来，作为在基材上形成无机蒸镀膜的方法，提出了使用催化剂(Catalytic)CVD法的方法、使用原子层沉积法(ALD法)的方法等。例如，在专利文献3 4中公开了在塑料基材上通过催化剂CVD法形成氮化硅膜的方法。在专利文献5中公开了在基材上通过催化剂CVD法(热丝CVD法；* 〃卜7 4 Y CV D法)形成SiONC膜的方法。专利文献6中公开了通过ALD法在基板上形成氧化铝薄膜的方法，报告了获得无针孔(If 一 一> L. 且致密的氧化铝膜。但是，专利文献3 6中，没有使用氟树脂膜作为基材，没有言及与氟树脂膜的密合性。此外，是考虑到在有机EL等的显示元件中的应用的技术方案，并不追求如太阳能电池用保护膜那样长达20 30年的长期的耐候性和阻气性。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2000-138387号公报专利文献2:日本专利特开2000-208795号公报专利文献3:日本专利特开2004-315899号公报专利文献4:日本专利特开2006-57121号公报专利文献5:日本专利特开2007-152772号公报专利文献6:日本专利特开2002-161353号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题本专利技术是鉴于上述情况而完成的专利技术，提供耐候性、阻气性优异，层间的密合性及其耐久性也优异的层叠体及其制造方法。解决技术问题所采用的技术方案解决上述课题的本专利技术具有以下方式。[I] 一种层叠体，其特征在于，是在含有氟树脂的基材板的至少一个面上直接层叠阻气层而得的层叠体，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分，上述阻气层的层叠面中，上述基材板的采用X射线光电子能谱法测定的Cls图谱中，在结合能289 291eV的范围内具有的最大峰的位置在290.1 290. 6eV的范围内。[2]如上述[I]所述的层叠体，上述氟树脂含有乙烯一四氟乙烯共聚物。[3]如上述[I]或[2]所述的层叠体，上述阻气层的层叠面中，上述基材板的采用X射线光电子能谱法测定的ClS图谱中，在结合能284 286eV的范围内具有的最大峰的位置在285. O 285. 9eV的范围内。[4]如上述[I] [3]中任一项所述的层叠体，上述无机化合物含有选自Si化合物和Al化合物的至少一种。[5]如上述[4]所述的层叠体，上述无机化合物含有选自氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氮氧化碳硅和氧化铝的至少一种。[6]如上述[I] [5]中任一项所述的层叠体，其是太阳能电池模块用保护板。[7]层叠体的制造方法(以下有时称为制造方法1)，在含有氟树脂的基材板的至少一个面上通过催化剂CVD法形成阻气层，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分，上述基材板和上述阻气层直接层叠。[8]层叠体的制造方法(以下有时称为制造方法2)，在含有氟树脂的基材板的至少一个面上通过ALD法形成阻气层，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分，上述基材板和上述阻气层直接层叠。[9]如上述[7]或[8]所述的制造方法，上述金属是硅或铝。专利技术的效果通过本专利技术，可以提供耐候性、阻气性优异，层间的密合性及其耐久性也优异的层叠体及其制造方法。附图说明图1:表示通过X射线光电子能谱法分别测定比较例I (通过溅射法在ETFE膜的一个面上形成氧化铝膜的层叠体)、实施例2 (通过ALD法在ETFE膜的一个面上形成氧化铝膜的层叠体)、参考例(ETFE膜)的ETFE膜表面的Cls图谱的结果的图。图2:显示采用催化剂CVD法的成膜中使用的成膜装置的一个实施方式的结构示意图。图3:显示采用ALD法的成膜中使用的成膜装置的一个实施方式的结构示意图。具体实施例方式本专利技术的层叠体是在含有氟树脂的基材板的至少一个面上直接层叠阻气层而得的层叠体，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分。以下，对本专利技术进行详细说明。 <基材板>构成基材板的氟树脂只要是在树脂的分子结构式中含有氟原子的热塑性树脂即可，没有特别限定，可以使用各种公知的含氟树脂。具体可以例举四氟乙烯类树脂、三氟氯乙烯类树脂、偏氟乙烯类树脂、氟乙烯类树脂、这些树脂中任意2种以上的复合物等。其中，特别是出于耐候性、防污性等优异的观点，优选四氟乙烯类树脂或三氟氯乙烯类树脂，特别优选四氟乙烯类树脂。四氟乙烯类树脂具体可以例举聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-全氟(烷氧基乙烯)共聚物(PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯-全氟(烷氧基乙烯)共聚物(EPE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、乙烯-三氯氟乙烯共聚物(ETCFE)等。根据需要，这些树脂可以分别再聚合少量的共聚单体成分。上述共聚单体成分只要是能够与构成各树脂的其它单体(例如ETFE的情况下为乙烯和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.13 JP 2010-1812071.一种层叠体，其特征在于，是在含有氟树脂的基材板的至少一个面上直接层叠阻气层而得的层叠体，该阻气层以由选自氧、氮和碳的至少一种元素与金属构成的无机化合物为主成分， 上述阻气层的层叠面中，上述基材板的采用X射线光电子能谱法测定的ClS图谱中，在结合能289 291eV的范围内具有的最大峰的位置在290.1 290.6eV的范围内。2.如权利要求1所述的层叠体，上述氟树脂含有乙烯一四氟乙烯共聚物。3.如权利要求1或2所述的层叠体，上述阻气层的层叠面中，上述基材板的采用X射线光电子能谱法测定的Cls图谱中，在结合能284 286eV的范围内具有的最大峰的位置在285.0 285.9eV的范围内。4.如权利要求1 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：木原直人，中尾卓也，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：
国别省市：