【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种线状锯,用线材将由例如半导体材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料构成的工件切断。
技术介绍
以往,作为这种线状锯,提出有例如专利文献I中公开的结构。在该现有的结构中,线状锯具备挂设线材的多个加工用辊;供给侧卷线筒,进行旋转而向加工用辊之间供给线材;以及收卷侧卷线筒,进行旋转而将加工用辊之间的线材收卷。在供给侧卷线筒以及收卷侧卷线筒上设置有用于使这些卷线筒沿着旋转轴线的方向进行位移动作的位移机构。在加工用辊与供给侧卷线筒以及收卷侧卷线筒之间分别设置有用于调整线材的张力的浮动辊式张力调整装置、以及用于引导线材行进的多个引导辊。而且,线材在加工用辊之间行进的同时,向该线材上供给含有磨粒的浆液。在该状态下,工件被按压到线材上,工件被切断。专利文献1:日本特开平4-135158号公报在该现有结构中,通过位移机构使两个卷线筒沿着其旋转轴线的方向进行位移动作。因此,无需在与各卷线筒对置的位置上设置包括使线材沿着卷线筒的旋转轴线的方向移动的位移辊的位移机构。但是,在该现有构成中,在加工用辊与两个卷线筒之间分别设置有调整线材张力的张力调整装置和引导线材行进的多个引导辊 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.29 JP 2011-1670251.一种线状锯,具备: 多个加工用辊,在所述多个加工用辊上挂设用于工件加工的线材; 供给侧卷线筒,进行旋转而向所述加工用辊之间供给线材;以及 收卷侧卷线筒,进行旋转而将所述加工用辊之间的线材收卷; 所述线状锯的特征在于,具备: 一对位移机构,使所述供给侧卷线筒以及所述收卷侧卷线筒分别沿着其旋转轴线的方向进行位移动作; 一对传感器,分别检测所述加工用辊与所述供给侧卷线筒以及所述加工用辊与所述收卷侧卷线筒之间的所述线材的张力;以及 一对张力调整机构,根据所述传感器的检测结果,分别使所述供给侧卷线筒以及所述收卷侧卷线筒移动,以调整所述线材的张力。2.根据权利要求1所述的线状锯,其特征在于, 所述传感器对从所述线材产生的声波进行感应来检测所述线材的张力。3.根据权利要求1所述的线状锯,其特征在...
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