一种应用于平板PECVD设备的石英管及其安装方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种应用于平板PECVD设备的石英管安装方法，包括：在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内；在石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；使得石英管玻璃管两端的零件对称设置；铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中，该方法使得石英管工作中受热膨胀均匀化，拆卸更方便。本发明专利技术实施例还提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能电池片生产的
，尤其是涉及一种应用于PECVD设备的石英管及其安装方法。
技术介绍
平板等离子体增强化学气相沉积法(PEVQ), Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)是硅太阳电池PEV⑶工艺的主要方法之一，在平板PECVD的过程中，是采用同轴的石英管系统来激发等离子体，通过一个内置同轴石英管与微波发射器相接后可在石英管上进行表面波放电，从而可以激发出高均匀的微波等离子体，或称之为大区域的线性微波等尚子体，同轴的石英管也称为微波源石英管。但是在平板PECVD 中，由于微波源石英管长时间处于400°C的高温和高功率放电的环境，石英管容易破裂，其密封圈容易烧焦变形，导致的沉积腔体内压强减小，出现腔体漏气，造成色差片，从而影响电池片的效率和合格率。因此为了解决漏气问题，必须打开腔体，更换石英管，然而更换石英管需要其从40(TC降至常温才能进行更换；而且在高温工作下，石英管表面会沉积氮化硅Si3N4, Si3N4硬度大导致更换时石英管容易崩裂，因此会将其敲碎，以便于拆卸，但是敲碎后容易产生Si3N4废渣和石英碎屑，会堵塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，其特征在于，包括：在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于所述石英玻璃管腔体内；在所述石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封圈以及聚四氟乙烯托盘；使得所述石英管玻璃管两端的零件对称设置；所述铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗所述石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中。

【技术特征摘要】
1.一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，其特征在于，包括: 在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带； 将铜质内导轴设置于所述石英玻璃管腔体内； 在所述石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封 圈以及聚四氟乙烯托盘；使得所述石英管玻璃管两端的零件对称设置； 所述铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上； 使用酒精擦洗所述石英玻璃管； 将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于: 所述耐高温胶带包括高聚酰亚胺膜耐高温胶带。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于: 所述第一聚氯丁橡胶密封圈与第二聚氯丁橡胶密封圈为O型设置。4.一种应用于平板PECVD...

【专利技术属性】
技术研发人员：王竞争，
申请(专利权)人：浚鑫科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：