【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电信息功能材料加工方法领域，具体为一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法。
技术介绍
透明导电氧化物薄膜是一种优良的光电功能薄膜，它在可见光范围内具有高透过率，红外区具有高反射率，并且具有接近金属的低电阻率，这一系列优点使其在电子信息产业得到广泛的应用，如太阳能电池，平板显示，红外热反射镜等。透明导电氧化物薄膜种类很多，主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料，目前铟锡氧化物(ΙΤ0)薄膜研究最为广泛，但是ITO薄膜材料稀少，价格昂贵，给ITO薄膜的广泛应用但来很大的不便。近几年发现铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电膜的光电性能与ITO薄膜性能相当，且价格便宜，无毒，在氢等离子体等特殊场合下性能稳定，ITO薄膜则无法相比，因此进一步研究的空间很大，有望成为ITO薄膜的代替品。到目前为止透明导电薄膜的制备通常在玻璃衬底上沉积获得，但玻璃衬底存在材质脆、不易变形等缺点，因此在某些方面限制了透明导电薄膜的应用。与在玻璃衬底上制备的透明导电薄膜相比，在柔性衬底上制备的透明导电薄膜具有可折叠、重量轻、不易碎、易于大面积生产、...
【技术保护点】
一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于：采用柔性衬底，并在柔性衬底上制备铝掺氧化锌薄膜，利用准分子激光退火装置对铝掺氧化锌薄膜进行退火处理，通过改变准分子激光退火装置出射激光束的参数来调节光束能量密度，从而使铝掺氧化锌薄膜达到最佳退火效果。
【技术特征摘要】
1.一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于:采用柔性衬底，并在柔性衬底上制备铝掺氧化锌薄膜，利用准分子激光退火装置对铝掺氧化锌薄膜进行退火处理，通过改变准分子激光退火装置出射激光束的参数来调节光束能量密度，从而使铝掺氧化锌薄膜达到最佳退火效果。2.根据权利要求1所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于:所述柔性衬底为柔性透明聚酯薄膜材料制成，优选聚乙烯对苯二甲酯材料，或者是聚酰亚胺材料，或者是聚碳酸酯材料，或者是聚醚砜材料。3.根据权利要求1所述的一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，其特征在于:所述铝掺杂氧化锌薄膜通过现有AZO薄膜制备技术制备在柔性衬底上，优选磁控溅射法，或者是脉冲激光沉积法，或者是溶胶凝胶...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵景珍，方晓东，董伟伟，邓赞红，
申请(专利权)人：中国科学院安徽光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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