温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法，利用准分子激光器对柔性铝掺杂氧化锌（简称AZO）薄膜进行激光退火，从而提高其光电性能的方法。该方法包括首先利用脉冲激光沉积等方法在柔性衬底上生长一层AZO薄膜，接着利用准分子激...
该专利属于中国科学院安徽光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院安徽光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。