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本发明实施例公开了一种应用于平板PECVD设备的石英管安装方法，包括：在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内；在石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；使得石英管玻璃管两端的零件对称设置；铜质内导轴穿在石英玻璃管两...
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