一种喷砂设备制造技术

本发明专利技术提供了一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，包括：置片箱；设置在所述置片箱的底板上的硅片夹具；喷砂枪，其喷头与装夹在所述硅片夹具的硅片相对并设置在所述置片箱的内壁上；通过砂料管与所述喷砂枪相连的砂料箱，所述砂料箱设置在所述置片箱上；通过气管与所述喷砂枪相连的空气压缩机。工作时，空气压缩机产生的压缩空气通过气管进入喷砂枪，在喷砂枪内部产生负压，由于负压的作用，与喷砂箱相连的砂料箱内的砂料通过砂料管进入喷砂枪并随高压气流对硅片边缘进行喷射处理。与现有技术中的通过操作人员手工打磨相比，本发明专利技术提供的喷砂设备用机械化设备替代手工打磨，明显的降低了操作人员的劳动强度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工
，更具体地说，涉及一种喷砂设备，用于去除硅片边缘。
技术介绍
硅是一种非常重要的半导体材料，在二极管、发光器件、太阳能电池等领域广泛使用。现在能源紧缺，太阳能电池硅片发电技术已引起人们的重视，导致硅资源的紧缺，所以如何有效的制造出闻质量的娃片成为提闻娃材料利用率的关键，这也成为企业增加利润的重要一环。但是，太阳能硅片生产过程中会产生大量边缘片，严重影响其质量。为了提高硅片的成品率、增加企业利润，目前常用做法是在硅棒切片前对其表面进行平磨、滚磨等抛光处理，以便达到粗糙度的要求，但是切出的硅片依然会有不少表面粗糙或者边缘片，如何把这些次品、甚至废品变为合格品，备受人们关注。现有的，市场上尚无对硅片边缘进行去除边缘片的相关设备，对生产中大量生产的硅片常采用人工打磨的做法去除其边缘，具体的，将约20片冲洗后有边缘的硅片用拇指和四指挤压整理整齐；捏取碳化硅放于玻璃板上平铺厚度在l_3mm间；双手扣住硅片，使硅片端面有缺损边在玻璃板上盛放碳化硅的部分下压；然后对被返工硅片进行前后推拉，使硅片边缘与玻璃板上的碳化硅摩擦；中途反复清洗、查看边缘打磨效果，直到推拉至边缘去除。由于上述工艺是通过操作人员手工打磨，推拉过程可能达到上百次才能达到需要的粗糙度，这导致操作人员的劳动强度大。综上所述，如何提供一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，以降低操作人员的劳动强度，成为目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，以降低操作人员的劳动强度。为了达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，包括置片箱；设置在所述置片箱的底板上的硅片夹具；喷砂枪，其喷头与装夹在所述硅片夹具的硅片相对并设置在所述置片箱的内壁上；通过砂料管与所述喷砂枪相连的砂料箱，所述砂料箱设置在所述置片箱上；通过气管与所述喷砂枪相连的空气压缩机。优选地，上述的喷砂设备中，所述硅片夹具为锁紧螺钉装置，其包括设置在所述置片箱的底板上的硅片安装槽和通过螺纹配合在硅片安装槽的侧壁上的锁紧螺钉，且所述锁紧螺钉的前端与所述硅片相抵。优选地，上述的喷砂设备中，还包括驱动装置，所述驱动装置通过连杆与所述喷砂枪相连，用于驱动所述喷砂枪运动，所述驱动装置固定在所述置片箱的外壁上。优选地，上述的喷砂设备中，还包括固定在所述置片箱的外壁上的撑板，所述驱动装置设置于所述撑板上。优选地，上述的喷砂设备中，所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置设置在所述置撑板上，所述第二驱动装置与所述第一驱动装置的移动端相连，且所述第一驱动装置的推动方向与所述第二驱动装置的推动方向相交，所述第二驱动装置的移动端与所述喷砂枪相连。优选地，上述的喷砂设备中，还包括吸风机，所述吸风机设置在所述置片箱的外壁上并与所述置片箱的内腔相通。优选地，上述的喷砂设备中，还包括照明灯，所述照明灯设置在所述置片箱内部。优选地，上述的喷砂设备中，还包括控制箱，所述控制箱设置在所述置片箱上，用于控制所述空气压缩机的气压、所述驱动装置的启停和所述吸风机的力度。优选地，上述的喷砂设备中，所述空气压缩机的出口连接油水分离器。优选地，上述的喷砂设备中，所述置片箱底面安装支撑架。从上述的技术方案可以看出，本专利技术提供的砂料箱喷砂设备，用于去除硅片边缘。该装置包括置片箱、硅片夹具、喷砂枪和空气压缩机。其中，硅片夹具设置在置片箱底板上，喷砂枪的喷头与装夹在硅片夹具上的硅片相对并固定在置片箱壁上，砂料箱通过砂料管与喷砂枪相连，空气压缩机通过气管与喷砂枪相连。工作时，空气压缩机产生的压缩空气通过气管进入喷砂枪，在喷砂枪内部产生负压，由于负压的作用，与喷砂箱相连的砂料箱内的砂料通过砂料管进入喷砂枪并随高压气流对硅片边缘进行喷射处理。与现有技术中的通过操作人员手工打磨相比，本专利技术提供的喷砂设备用机械化设备替代手工打磨，明显的降低了操作人员的劳动强度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的喷砂设备的结构示意图。上图中置片箱11、支撑架12、硅片夹具2、硅片21、喷砂枪3、砂料管31、砂料箱4、油水分离器51、驱动装置6、连杆61、撑板62、吸风机7、照明灯8、控制箱9。具体实施例方式本专利技术提供了一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，以降低操作人员的劳动强度。下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参考附图1，该图示出了本专利技术实施例提供的喷砂设备的结构示意图。本专利技术提供的喷砂设备，用于去除硅片边缘，包括置片箱11、硅片夹具2、喷砂枪3、砂料箱4和空气压缩机(图中未示出)。其中硅片夹具2设置在置片箱11底板上；喷砂枪3的喷头与装夹在硅片夹具2上的硅片21相对，并且喷砂枪3设置在置片箱11的内壁上；砂料箱4作为砂料的来源，通过砂料管31与喷砂枪3相连，砂料箱4固定在置片箱11上；空气压缩机通过气管与喷砂枪3相连。本专利技术提供的喷砂设备，用机械设备代替手工打磨，目的是降低操作人员的劳动强度。鉴于此，本专利技术设置喷砂枪3，用来对硅片21的边缘进行处理，空气压缩机作为喷砂枪3的动力来源，砂料箱4用来盛放砂料为喷砂枪3提供原料。工作时，空气压缩机产生的压缩空气通过气管进入喷砂枪3，在喷砂枪3内产生负压，此时与喷砂枪3相连的砂料箱4内的砂料由于负压的作用从砂料箱4经砂料管31进入喷砂枪3，随高速压缩空气作用于硅片边缘。从上述的工作过程可以看出，为了在喷砂枪3喷射时硅片21稳定使去除的均匀，该设备需要对硅片21进行固定，因此，本专利技术还设置了硅片夹具2，用来对硅片21进行定位夹紧。硅片夹具2、喷砂枪3和砂料箱4都需要安置在支架上，因此，本专利技术提供的喷砂设备还设置了置片箱11，用来提供喷砂枪3工作的环境。硅片夹具2设置在置片箱11的底板上；喷砂枪3设置在与硅片夹具2相对的置片箱11的内壁上，与装夹在硅片夹具2的硅片21的待处理边缘相对；砂料箱4设置在置片箱11上。本专利技术提供的喷砂设备中的硅片夹具2为锁紧螺钉装置，具体包括硅片安装槽和锁紧螺钉。硅片安装槽设置在置片箱11的底板上，优选地，设置在底板的左侧，锁紧螺钉通过螺纹配合在硅片安装槽的侧壁上，且锁紧螺钉的前端与硅片21相抵。工作时，通过旋紧锁紧螺钉将硅片21固定在硅片安装槽里，通过旋松锁紧螺钉对片21进行拆卸。本领域的人员可以想到的是，通过调节锁紧螺钉的长度和硅片安装槽的大小可以实现对大量硅片21的同时处理，减少了操作人员的更换时间和停机开机的次数。为了方便对不同位置的硅片边缘进行处理，本专利技术提供的喷砂设备进一步包括驱动装置6，驱动装置6通过连杆61与喷砂枪3相连并安装在置片箱11的外壁上，用于驱动喷砂枪3按需要的方向运动，相应的在置片箱11的侧壁上开有能够满本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，其特征在于，包括：置片箱(11)；设置在所述置片箱(11)的底板上的硅片夹具(2)；喷砂枪(3)，其喷头与装夹在所述硅片夹具(2)的硅片(21)相对并设置在所述置片箱(11)的内壁上；通过砂料管(31)与所述喷砂枪(3)相连的砂料箱(4)，所述砂料箱(4)设置在所述置片箱(11)上；通过气管与所述喷砂枪(3)相连的空气压缩机。

【技术特征摘要】
1.一种喷砂设备，用于去除硅片边缘，其特征在于，包括 置片箱(11); 设置在所述置片箱(11)的底板上的硅片夹具(2); 喷砂枪(3)，其喷头与装夹在所述硅片夹具(2)的硅片(21)相对并设置在所述置片箱(11)的内壁上； 通过砂料管(31)与所述喷砂枪(3)相连的砂料箱(4)，所述砂料箱(4)设置在所述置片箱(11)上； 通过气管与所述喷砂枪(3)相连的空气压缩机。2.根据权利要求1所述的喷砂设备，其特征在于，所述硅片夹具(2)为锁紧螺钉装置，其包括设置在所述置片箱(11)的底板上的硅片安装槽和通过螺纹配合在硅片安装槽的侧壁上的锁紧螺钉，且所述锁紧螺钉的前端与所述硅片(21)相抵。3.根据权利要求1所述的喷砂设备，其特征在于，还包括驱动装置￠)，所述驱动装置(6)通过连杆￠1)与所述喷砂枪(3)相连，用于驱动所述喷砂枪(3)运动，所述驱动装置(6)固定在所述置片箱(11)的外壁上。4.根据权利要求3所述的喷砂设备，其特征在于，还包括固定在所述置片箱(11)的外壁上的撑板(62)，所述驱动装置(6)设置于所述撑板￠2)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋常乐，刘学，蔡龙，袁刚，张鹏，崔三观，吴阿敏，
申请(专利权)人：浙江昱辉阳光能源有限公司，
类型：发明
国别省市：