半导体激光装置制造方法及图纸

一种半导体激光装置。将多个结平面垂直于底板安装的半导体激光器所发出的光，经快轴准直、慢轴准直，以及反射镜改变光束方向，在慢轴方向上形成压缩了间距的准直光束，再经透镜耦合进入光纤获得高功率密度光输出。每个半导体激光器可以对应一个慢轴准直柱面透镜，也可以分成若干组，每组共用一个准直柱面透镜。离耦合透镜最远的半导体激光器可以直接将其安装为光轴平行于耦合透镜光轴从而不需要反射镜。这样的装置有很高的可靠性、紧凑的外形，可以集成使用多种波长的激光器，并且很容易扩展出更多功能。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本装置涉及一种将多个独立半导体激光器发出的光束经整形和重新排列后合并耦合进入一根光纤的结构，通过它可以获得高功率的光纤激光输出，属于激光和应用光学领域。
技术介绍
通过光纤输出的高功率半导体激光在激光加工领域和光纤激光器、固体激光器制造领域的应用越来越广泛。通过提高单个半导体激光器的输出光功率密度，并将多个半导体激光器的输出光合并后输出是提升光纤输出半导体激光器亮度的主要方法。在现有的半导体激光器材料生长和制作工艺水平下，半导体激光器单管的功率不可能有很快的提高，因此提升光纤输出半导体激光器亮度主要靠耦合技术的改进。常见高亮度大功率半导体激光器采用单纤输出，其光纤耦合方式有两种一是利用半导体激光器列阵，通过整形光学系统将列阵中每个激光器的输出光准直、重新排列、合并到一起输出；另一种方式是将多个单只半导体激光器的输出光经过准直、整形、合并到一起输出。采用多个单只激光器的方案，可以对单只管芯在安装前进行筛选，并且其散热通道比列阵也更大，因此基于多个单只半导体激光器的光纤耦合方案的可靠性、一致性、灵活性均好于使用列阵。已经有一些基于多个单只激光器的高亮度大功率半导体激光器方案。在这些方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光装置，由半导体激光器芯片、热沉、快轴准直柱面透镜、慢轴准直柱面透镜、反射镜、聚焦透镜和光纤构成，其特征为多个激光器芯片各自安装在一个热沉上作为一个单元，多个安装了激光器芯片的热沉以芯片PN结平面垂直于底板的方式安装到底板上，每个激光器的光路上都安装一个快轴准直柱面透镜，其光路前方有一个慢轴准直柱面透镜和一个反射镜，每个反射镜反射其所对应的一路光束，经快轴准直、慢轴准直和反射压缩间距的准直光束通过聚焦透镜聚焦到光纤端面。

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光装置，由半导体激光器芯片、热沉、快轴准直柱面透镜、慢轴准直柱面透镜、反射镜、聚焦透镜和光纤构成，其特征为多个激光器芯片各自安装在一个热沉上作为一个单元，多个安装了激光器芯片的热沉以芯片PN结平面垂直于底板的方式安装到底板上，每个激光器的光路上都安装一个快轴准直柱面透镜，其光路前方有一个慢轴准直柱面透镜和一个反射镜，每个反射镜反射其所对应的一路光束，经快轴准直、慢轴准直和反射压缩间距的准直光束通过聚焦透镜聚焦到光纤端面。2.根据权利要求1所述的一种半导体激光装置，其特征为多个激光器可以分成若干组，每个组有一个或多个激光器，对多于一个芯片的组，慢轴准直柱面透镜安装在该组中离聚焦透镜最近的反射镜后方，每个组内的激光器芯片的输出光束共用该慢轴准直柱面透镜。3.根据权利要求1所述的一种半导体激光装置，其特征为距离聚焦透镜最远的一个激光器，它的安装出光方向也可以正对聚焦透镜，其输出光束的光轴直接与聚焦透镜光轴平行，不用反射镜反射。4.根据权利要求1所述的一种半导体激光装置，其特征为当相邻两个激光器发射不同波长的激光，离聚焦透镜近的激光器所对应的反射镜可以是一个双色镜，离聚焦透镜远的激光器的光束透过双色...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩静，
申请(专利权)人：北京大族天成半导体技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：