一种半导体功率器件测试夹具制造技术

本实用新型专利技术一种半导体功率器件测试夹具，属于电力半导体器件测技术领域。它主要是解决现有半导体功率器件测试中安装不方便、效率低下的问题。它的主要特征是：包括气缸，螺杆，螺母，导电电极，上、下压板，上、下底板，支撑柱，长、短连接板；上、下底板之间通过螺杆、螺母连接成框架，下底板固定在气缸上；上压板固定在上底板上，下压板固定在活塞上；上压板与下压板之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极；长、短连接板构成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧。本实用新型专利技术具有可提高工作效率、可过载高压和大电流、可快速压接到规定的压力要求、减少安装冲击力的特点，主要用于半导体功率器件选型的测试夹具。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电力半导体器件测试
具体涉及一种可广泛用于半导体功率器件选型测试的半导体功率器件测试夹具。
技术介绍
目前，电力半导体器件向高压领域发展。介于单只半导体功率器件耐压技术瓶颈，多采用多只器件串联。由于单只器件的特性曲线并不完全一致，紧紧依靠特性参数选型，不能完全验证器件在不同工况串联使用是否特性一致。故需要将使用的多只器件串联起来在实际应用的工况下验证其动静态均压特性。由于高压半导体功率器件实际多为高压大电流应用领域，器件需施加规定的压力和安装动静态均压系统后方可使用。所以开发一种可提高工作效率的半导体功率器件测试夹具，解决阀组安装不方便、效率低下的问题。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种可提高工作效率的半导体功率器件测试夹具，其结构可以过载高压和大电流，并采用气动的方式实现器件的快速压接到规定的压力要求。从而保护被测半导体功率器件，减少安装冲击力。本技术的技术解决方案是一种半导体功率器件测试夹具，其特征在于包括气缸、螺杆、螺母、导电电极、上压板、下压板、上底板、下底板、支撑柱、长连接板和短连接板；所述上底板与下底板之间通过螺杆、螺母连接成框架，支撑柱连接在螺杆之间，下底板固定在气缸上；所述上压板固定在上底板上，下压板固定在气缸的工作活塞上；在所述上压板与下压板之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极；所述长连接板与短连接板构成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧，并与支撑板组中各支撑板对应连接；所述上底板为绝缘底板。本技术的技术解决方案中所述的下压板与气缸工作活塞的中心位置安装有轴承滚珠。本技术的技术解决方案中所述的长连接板与长连接板中间铰接、并固定在支撑板的两侧构成一层铰链结构；相邻层铰链结构的长连接板端部相互铰接，构成伸缩式铰链结构；上端的长连接板端部分别通过铰结的短连接板铰接在上压板上，下端的长连接板端部分别通过铰接的短连接板铰结在下压板上。本技术的技术解决方案中所述的支撑板组为2-11个带导电电极的支撑板。本技术的技术解决方案中所述的相邻支撑板的导电电极间配有动静态吸收系统接口。本技术由于采用由气缸、螺杆、螺母、导电电极、上压板、下压板、上底板、下底板、支撑柱、长连接板和短连接板构成的一种半导体功率器件测试夹具，其中，上底板与下底板之间通过螺杆、螺母连接成框架，支撑柱连接在螺杆之间，下底板固定在气缸上，上压板固定在上底板上，下压板固定在气缸的工作活塞上，上压板与下压板之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极，长连接板与短连接板构成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧，并与支撑板组中各支撑板对应连接，上底板为绝缘底板，因而测试时，将待测试器件分别放入各层支撑板上，启动气缸使活塞推动下压板向上移动，各层间均匀间隔作用，至所安装的所有半导体器件面面接触，然后施加固定的紧固压力将半导体功率器件压紧，便可进行测试。本技术由于上底板为高强度环氧结构，因而可提高夹具绝缘性能，防止框架回路在大电流下产生感应电流。本技术支撑板组由于可能为2-11个带导电电极的支撑板，因而可测试ι- ο只半导体功率器件，支撑板起支撑和限位作用。本技术由于在下压板与气缸工作活塞的中心位置安装有轴承滚珠，可矫正各层面接触后的倾斜，起自动找平的效果。本技术由于每层电极间配有动静态吸收系统接口，可配置不同参数动静态吸收系统。本技术由于在相邻支撑板的导电电极间配有动静态吸收系统接口，因而每层导电电极可独立输出。本技术具有可提高工作效率、可过载高压和大电流、可快速压接到规定的压力要求、减少安装冲击力的特点。本技术主要用于半导体功率器件选型的测试夹具。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是图1的部分结构左视图。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详述。如图1、图2所示。本技术一种半导体功率器件测试夹具由气缸1、框架、螺杆3、螺母4、轴承滚珠5、导电电极7、下压板6、上压板10、下底板2、上底板12、绝缘块11、支撑柱8、长连接板13、短连接板14、动静态均压系统接口 9组成。上底板12与下底板2之间通过四角的4根螺杆3及配合的螺母4连接成框架，支撑柱8连接在螺杆3之间，下底板2固定在气缸I上。上底板为高强度环氧结构的绝缘底板，可提高夹具绝缘性能，防止框架回路在大电流下产生感应电流。上压板10固定在上底板12上，下压板6固定在气缸I的工作活塞上。下压板6与气缸I工作活塞的中心位置安装有轴承滚珠5，在施加压力过程中，由于下压板、各电极、支撑板、上压板、及被测试功率器件如工艺原因或者安装的精度等出现问题而导致的各层面不水平、压力出现偏执时，可矫正各层面接触后的倾斜，起自动找平的效果。在上压板10与下压板6之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极7。支撑板组为2-11个带导电电极的支撑板，可测试1-10只半导体阀片的功率测试，支撑板起支撑和限位作用，每层导电电极可独立输出，支撑板支撑时，两极板间隙>40cm，限位时两极板间隙<20cm。相邻支撑板的导电电极间配有动静态吸收系统接口，可配置不同参数动静态吸收系统，每层导电电极可独立输出。长连接板13与长连接板13中间通过轴铰接，该轴固定在支撑板的侧端，构成一层铰链结构。相邻层铰链结构的长连接板13端部相互铰接，构成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧。上端的长连接板13端部分别通过铰接的短连接板14铰结接在上压板10上，下端的长连接板13端部分别通过铰接的短连接板14铰接在下压板6上。支撑柱8可使各电极间上下均勻，各层间均匀间隔作用，二辅助支撑板起上下限位作用。气动装置设有缓冲设计，气缸上升有两路电磁阀控制，一路电磁阀控制较小的压力使被测器件缓慢接触。器件接触后另一路电磁阀控制气缸施加规定压力。首先工作时，活塞推动下压板11向上移动，首先施加一小压力降各半导体功率器件缓慢接触，至所安装的所有半导体器件面面接触，然后施加固定的紧固压力将半导体功率器件压紧。本技术可测试管壳为平板型的整流二极管、快恢复二极管、门极可关断晶闸管、双向晶闸管、相控晶闸管、快速晶闸管、光控晶闸管等电力半导体器件中任意一种。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体功率器件测试夹具，其特征在于：包括气缸（1）、螺杆（3）、螺母（4）、导电电极（7）、上压板（10）、下压板（6）、上底板（12）、下底板（2）、支撑柱（8）、长连接板（13）和短连接板（14）；所述上底板（12）与下底板（2）之间通过螺杆（3）、螺母（4）连接成框架，支撑柱（8）连接在螺杆（3）之间，下底板（2）固定在气缸（1）上；所述上压板（10）通过绝缘块（11）固定在上底板（2）上，下压板（6）固定在气缸（1）的工作活塞上；在所述上压板（10）与下压板（6）之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极（7）；所述长连接板（13）与短连接板构（14）成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧，并与支撑板组中各支撑板对应连接；所述上底板（12）为绝缘底板。

【技术特征摘要】
1.一种半导体功率器件测试夹具，其特征在于包括气缸(I)、螺杆(3)、螺母(4)、导电电极(7)、上压板(10)、下压板(6)、上底板(12)、下底板(2)、支撑柱(8)、长连接板(13)和短连接板(14);所述上底板(12)与下底板(2)之间通过螺杆(3)、螺母(4)连接成框架，支撑柱(8 )连接在螺杆(3 )之间，下底板(2 )固定在气缸(I)上；所述上压板(10 )通过绝缘块 (11)固定在上底板(2 )上，下压板(6 )固定在气缸(I)的工作活塞上；在所述上压板(10 )与下压板(6)之间设有电极支撑板组，电极支撑板上设有导电电极(7);所述长连接板(13)与短连接板构(14)成伸缩式铰链结构，分设于支撑板组两侧，并与支撑板组中各支撑板对应连接；所述上底板(12)为绝缘底板。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹宗林，肖彦，黄俊，可家军，曾庆泉，
申请(专利权)人：湖北台基半导体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：